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詳細介紹
產(chǎn)品特點
＜ 50nm 結(jié)深控制
低至 10nm 以內(nèi)的峰值濃度深度控制
優(yōu)異的雜質(zhì)形貌分布和均勻性
WPH 高達 25
完整的全程監(jiān)控反饋功能
應(yīng)用產(chǎn)品類型
背照式圖像傳感器晶圓
技術(shù)指標(biāo)
| 項目 | LA2515 |
| 晶圓尺寸 | 4/6、6/8 inch 兼容 |
| 激光功率 | 15W/13W |
| 典型掃描時間 | 90 sec/p@ 6 inch |
| 激光能量密度 | 0.3-3J/cm2 |
| 激活率 | ≥ 95% @B Implant |
| 均勻性 | 片內(nèi)：≤ 1%，片間：≤ 1%，@6 inch，RS |
| 自動傳片系統(tǒng) | 雙 LoadPort、多關(guān)節(jié)機器手、預(yù)準(zhǔn)直器 |
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