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詳細介紹
具有高擴展性，可滿足多種加工需求
- Φ200 mm
- 單主軸
廣泛的產品應用
DAD3351是對應8英寸加工物的半自動切割機。標準搭載1.8 kW高功率主軸。選用高轉矩?高剛性的2.2 kW主軸（選配）、可對應從硅到陶瓷等難切割材料的加工。選用對應5英寸刀片的特殊規格，可以切割厚度10 mm以上的加工物。除此以外，還可選配 一張膠膜框架上粘貼多片加工物的校準功能。
穩定的加工品質
采用高剛性門型結構以及有效地抑制熱伸縮和振動的主軸前端支撐結構，提供更穩定的加工點。并且，搭載了主軸溫度傳感器的溫度監測功能。
縮短加工時間
X，Y，Z全軸采用伺服馬達，不僅提高了軸速，而且達到了化的控制參數。因此，以往機種相比縮短了約5%的加工時間。
提高生產效率
新型非接觸式測高功能（Non-Contact Setup/ 選配），對工作臺的刀片測高時間縮短了74％。因為提高了測量精度，使加工品質更加穩定。除此之外，顯微鏡環形照明的開燈方向可以切換3種模式，提高了切痕檢測的識別率。可對應SECS/GEM通信系統。
操作簡便
- XIS (Extended Interface System)
操作按鈕集中于顯微鏡頁面 - Wafer mapping
與全自動機型相同，以圖示顯示切割的進度狀態 - Log viewer
以圖示表示類比數據，可視化切割參數 - Help viewer
異常發生時顯示對應措施，有助于迅速切實地恢復設備狀態
便捷的保養特性
- 增強了X, Y和Z軸的防塵性能
針對陶瓷等切屑容易對主軸損傷的材料更有效
Specifications
| Specification | Unit | 1.8 kW | 2.2 kW (Option) | 2.2 kW (Option) (High torque) | |
|---|---|---|---|---|---|
| Max. workpiece size | - | Φ8 inch (250 mm × 250 mm user-specified specification) | |||
| X axis | Cutting range | mm | 260 | ||
| Cutting speed | mm/s | 0.1 ～ 1,000 | |||
| Y-axis | Cutting range | mm | 260 | ||
| Index step | mm | 0.0001 | |||
| Index positioning accuracy | mm | 0.002/260 (Single error) 0.002/5 | |||
| Z-axis | Max. stroke | mm | 31.2 | 31.4 | |
| Moving resolution | mm | 0.0000002 (0.2 nm) | |||
| Repeatability accuracy | mm | 0.001 | |||
| θ-axis | Max. rotating angle | deg | 320 Θ axis rotation specification 380°(option):382.5 | ||
| Spindle | Rated output | 1.8 at 60,000 min-1 | 2.2 at 30,000 min-1 | 2.2 at 15,000 min-1 | |
| Rated torque | N?m | 0.29 | 0.7 | 1.4 | |
| Revolution speed range | min‐1 | 6,000 ～ 60,000 | 3,000 ～ 30,000 | 3,000 ～ 15,000 | |
| Machine dimensions(W×D×H) | mm | 880 × 1,000 × 1,800 | |||
| Machine weight | kg | Approx. 1,100 | |||
※ 為了改善，機器的外觀，特征，規格等本公司可能在未預先通知用戶的情況下實施變更。
※ 機器的使用條件，請先確認標準規格書。
Product Lineup
| Machine type |
| Spindle |
| C/T |
| Machine dimentions（W × D × H） |
| Machine weight（kg） |
| DAD323 | DAD324 | DAD3220 | DAD3221 | DAD3230 | DAD3231 | DAD3240 | DAD3241 | DAD3350 | DAD3360 | DAD3361 | DAD3430 | DAD3431 | DAD3650 | DAD3651 | DAD3660 | DAD3661 |
| 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 |
| 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 2 | 2 | 2 | 2 |
| 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 |
| 490 × 870 × 1,600 | 490 × 870 × 1,670 | 500 × 900 × 1,670 | 490 × 870 × 1,670 | 730 × 900 × 1,670 | 650 × 950 × 1,670 | 650 × 950 × 1,600 | 650 × 950 × 1,670 | 900 × 1,050 × 1,800 | 880 × 1,000 × 1,800 | 880 × 1,000 × 1,800 | 730 × 900 × 1,670 | 730 × 900 × 1,670 | 790 × 790 × 1,890 | 790 × 790 × 1,800 | 1,350 × 1,200 × 1,890 | 1,350 × 1,200 × 1,800 |
| 400 | 420 | 550 | 420 | 600 | 550 | 530 | 550 | 1,200 | 1,100 | 1,100 | 600 | 600 | 1,100 | 1,040 | 1,500 | 1,550 |
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