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詳細介紹
出色的工藝擴展性，對應Φ300 mm的旗艦機型
- Φ300 mm
- 對向式雙主軸
- DBG
兼用于框架搬送規(guī)格和框架/圓晶搬送規(guī)格※
一臺裝置即可對應全切/半切等多樣化工藝，既可減少零部件更換的作業(yè)時間，又可有效地抑制零部件更換時可能發(fā)生的人為失誤。而且，可同時對應標準晶圓儲料盒(Φ200 mm/Φ300 mm)，和FOUP晶圓儲料盒。
※ 選配
自動更換切割刀片※(ABC)
自動檢測刀片壽命，自動進行從更換刀片到重新開始切割等一系列的操作,實現最少的停機時間。而且還能有效地防止加工物變更時的刀片品種安裝錯誤。同時提高了可追蹤性。
※ 選配
提升基本性能
通過搭載19英寸顯示器及圖形用戶接口GUI（Graphical User Interface），提高了操縱性。此外，通過功能改良后的NCS(Non-Contact Setup)提高生產率，以及通過搭載獨自開發(fā)的1.8 kW主軸（60,000 min-1）有望提高加工穩(wěn)定性。
※ 選配
加工物流程系統(tǒng)
（框架搬送規(guī)格時）
- 下取物手臂將加工物從晶圓盒中取出，在預校準臺進行中心定位作業(yè)后，搬運到工作臺 → 切割 →
- 上取物手臂將加工物從工作臺搬運到離心清洗臺 → 清洗，干燥 →
- 下取物手臂將加工物放回到晶圓盒內
Specifications
| Specification | Unit | 1.8 kW, High-speed rotation | 2.2 kW | |
|---|---|---|---|---|
| Max. workpiece size | mm | Φ300 | ||
| X-axis | Cutting range | mm | 310 | |
| Cutting speed | mm/s | 0.1 ～ 1,000 | ||
| Y1?Y2-axis | Cutting range | mm | 310 | |
| Index step | mm | 0.0001 | ||
| Positioning accuracy | mm | Within 0.002/310 (Single error) Within 0.002/5 | ||
| Z-axis | Max. stroke | mm | 14.7 (For Φ2 inch blade) | 14.9 (For Φ3 inch blade) |
| Moving resolution | mm | 0.0000002 | ||
| Repeatability accuracy | mm | 0.001 | ||
| θ-axis | Max. rotating angle | deg | 380 | |
| Spindle | Rated torque | N?m | 0.29(1.8 kW) 0.19(High-speed rotation) | 0.7 |
| Revolution speed range | min‐1 | 6,000 ～ 60,000（1.8 kW） 20,000 ～ 80,000(High-speed rotation) | 3,000 ～ 30,000 | |
| Machine dimensions(W×D×H) | mm | 1,200 × 1,550 × 1,800 | ||
| Machine weight | kg | Approx. 1,800 | ||
※ 為了改善，機器的外觀，特征，規(guī)格等本公司可能在未預先通知用戶的情況下實施變更。
※ 機器的使用條件，請先確認標準規(guī)格書。
Product Lineup
| Machine type |
| Spindle |
| C/T |
| Machine dimentions（W × D × H） |
| Machine weight（kg） |
| DFD6240 | DFD6340 | DFD6341 | DFD6361 | DFD6362 | DFD6450 | DFD6560 | DFD6561 | DFD6750 | DFD6760 |
| 全自動 | 全自動 | 全自動 | 全自動 | 全自動 | 全自動 | 全自動 | 全自動 | 全自動 | 全自動 |
| 1 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 |
| 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 2 | 2 |
| 900 × 1,190 × 1,800 | 1,180 × 1,110 × 1,850 | 1,180 × 1,080 × 1,820 | 1,200 × 1,550 × 1,800 | 1,200 × 1,550 × 1,800 | 1,120 × 1,500 × 1,600 | 1,240 × 1,550 × 1,960 | 1,240 × 1,550 × 1,960 | 1,510 × 1,554 × 1,800 | 1,200 × 1,900 × 1,800 |
| 1,200 | 1,600 | 1,500 | 2,050 | 2,050 | 1,400 | 1,640 | 1,500 | 2,200 | 2,800 |
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