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切割機

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  • 型號 DFD6363
  • 品牌
  • 廠商性質 生產商
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更新時間:2021-10-06 22:24:02瀏覽次數:773

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產品簡介

出色的工藝擴展性,對應300mm的旗艦機型Φ300mm對向式雙主軸DBG兼用于框架搬送規(guī)格和框架/圓晶搬送規(guī)格※一臺裝置即可對應全切/半切等多樣化工藝,既可減少零部件更換的作業(yè)時間,又可有效地抑制零部件更換時可能發(fā)生的人為失誤

詳細介紹

出色的工藝擴展性,對應Φ300 mm的旗艦機型

  • Φ300 mm
  • 對向式雙主軸
  • DBG

兼用于框架搬送規(guī)格和框架/圓晶搬送規(guī)格

一臺裝置即可對應全切/半切等多樣化工藝,既可減少零部件更換的作業(yè)時間,又可有效地抑制零部件更換時可能發(fā)生的人為失誤。而且,可同時對應標準晶圓儲料盒(Φ200 mm/Φ300 mm),和FOUP晶圓儲料盒。

※ 選配


自動更換切割刀片(ABC)

自動檢測刀片壽命,自動進行從更換刀片到重新開始切割等一系列的操作,實現最少的停機時間。而且還能有效地防止加工物變更時的刀片品種安裝錯誤。同時提高了可追蹤性。

※ 選配

ABC單元
ABC單元

提升基本性能

通過搭載19英寸顯示器及圖形用戶接口GUI(Graphical User Interface),提高了操縱性。此外,通過功能改良后的NCS(Non-Contact Setup)提高生產率,以及通過搭載獨自開發(fā)的1.8 kW主軸(60,000 min-1)有望提高加工穩(wěn)定性。

※ 選配

19英寸顯示器
19英寸顯示器

加工物流程系統(tǒng)

(框架搬送規(guī)格時)

  1. 下取物手臂將加工物從晶圓盒中取出,在預校準臺進行中心定位作業(yè)后,搬運到工作臺 → 切割
  2. 上取物手臂將加工物從工作臺搬運到離心清洗臺 → 清洗,干燥
  3. 下取物手臂將加工物放回到晶圓盒內

Specifications

Specification Unit 1.8 kW, High-speed rotation 2.2 kW
Max. workpiece size mm Φ300
X-axis Cutting range mm 310
Cutting speed mm/s 0.1 ~ 1,000
Y1?Y2-axis Cutting range mm 310
Index step mm 0.0001
Positioning accuracy mm Within 0.002/310
(Single error) Within 0.002/5
Z-axis Max. stroke mm 14.7 (For Φ2 inch blade) 14.9 (For Φ3 inch blade)
Moving resolution mm 0.0000002
Repeatability accuracy mm 0.001
θ-axis Max. rotating angle deg 380
Spindle Rated torque N?m 0.29(1.8 kW)
0.19(High-speed rotation)
0.7
Revolution speed range min‐1 6,000 ~ 60,000(1.8 kW)
20,000 ~ 80,000(High-speed rotation)
3,000 ~ 30,000
Machine dimensions(W×D×H) mm 1,200 × 1,550 × 1,800
Machine weight kg Approx. 1,800

※ 為了改善,機器的外觀,特征,規(guī)格等本公司可能在未預先通知用戶的情況下實施變更。
※ 機器的使用條件,請先確認標準規(guī)格書。

Product Lineup

Machine type
Spindle
C/T
Machine dimentions(W × D × H)
Machine weight(kg)
DFD6240DFD6340DFD6341DFD6361DFD6362DFD6450DFD6560DFD6561DFD6750DFD6760
全自動全自動全自動全自動全自動全自動全自動全自動全自動全自動
1222222222
1111111122
900 × 1,190 × 1,8001,180 × 1,110 × 1,8501,180 × 1,080 × 1,8201,200 × 1,550 × 1,8001,200 × 1,550 × 1,8001,120 × 1,500 × 1,6001,240 × 1,550 × 1,9601,240 × 1,550 × 1,9601,510 × 1,554 × 1,8001,200 × 1,900 × 1,800
1,2001,6001,5002,0502,0501,4001,6401,5002,2002,800

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