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詳細(xì)介紹
Φ300 mm切割機(jī)的機(jī)型
- Φ300 mm
- 對向式雙主軸
全自動(dòng)雙工作臺切割機(jī)
DFD6760是以自動(dòng)切割機(jī)DFD6362為基礎(chǔ)，為進(jìn)一步提高生產(chǎn)效率而開發(fā)的機(jī)型。DFD6760配置有2個(gè)工作臺，一個(gè)工作臺進(jìn)行加工，另一個(gè)工作臺可同時(shí)進(jìn)行搬送/定位校準(zhǔn)，從而可以縮短主軸的加工待機(jī)時(shí)間，提高生產(chǎn)效率。除此之外，一個(gè)工作臺進(jìn)行切割時(shí)，另一個(gè)工作臺進(jìn)行加工后圓晶的影像記錄或利用NSD※進(jìn)行圓晶厚度測定等，可在維持產(chǎn)能效率的同時(shí)進(jìn)行檢查和測定。 而且和以往機(jī)型一樣，提高了X，Y，Z軸的返回速度，從而縮短了加工時(shí)間。
※ Non-contact Surface Detector（非接觸式圓晶測高器/選配）
維持產(chǎn)能的同時(shí)提高圓晶加工質(zhì)量
在薄晶圓的階梯式切割中，控制從晶圓表面切入的深度非常重要。利用控制切入深度時(shí)所使用的NSD可實(shí)現(xiàn)從晶圓表面進(jìn)行高精度的高度測定。雖然NSD約需費(fèi)時(shí)10秒，但由于DFD6760是在利用一個(gè)工作臺進(jìn)行晶圓加工的同時(shí)另一邊實(shí)行NSD，因此不會(huì)對產(chǎn)能造成影響。
豐富的微粒對策
可以結(jié)合工作物的特性，選配DFD6362中備受好評的切割部雙流體噴射，磨輪罩以及工作臺水簾等。
支持可追溯性構(gòu)筑的需求
DFD6760配置有2個(gè)工作臺，一個(gè)工作臺進(jìn)行切割作業(yè)， 另一個(gè)工作臺可同時(shí)進(jìn)行保存加工后圓晶的刀痕影像，記錄加工質(zhì)量。近年來，制造現(xiàn)場要求確保可追溯性，以便在產(chǎn)品發(fā)生了缺陷時(shí)，也可以確認(rèn)和證明切割時(shí)的品質(zhì)。
操作簡便
通過搭載DFD6362中備受好評的LCD觸摸屏及圖形用戶接口GUI（Graphical User Interface），提高了操縱性。
加工記錄閱覽軟件「Dicer Image Viewer」
本機(jī)型與以往機(jī)型的加工流程比較
Specifications
| Specification | Unit | 1.2, 1.8 kW | 2.2 kW | |
|---|---|---|---|---|
| Max. workpiece size | mm | Φ300 | ||
| X-axis | Cutting range | mm | 310 | |
| Cutting speed | mm/s | 0.1 ～ 1,000 | ||
| Y1?Y2-axis | Cutting range | mm | 310 | |
| Index step | mm | 0.0001 | ||
| Positioning accuracy | mm | Within 0.003/310 (Single error) Within 0.002/5 | ||
| MY1?MY2-axis | Index step | mm | 0.0001 | |
| Positioning accuracy | mm | Within 0.003/310 (Single error) Within 0.002/5 | ||
| Z-axis | Max. stroke | mm | 14.7 (For Φ2 inch blade) | 14.9 (For Φ3 inch blade) |
| Moving resolution | mm | 0.00005 | ||
| Repeatability accuracy | mm | 0.001 | ||
| θ-axis | Max. rotating angle | deg | 380 | |
| Spindle | Rated torque | N?m | 0.19（1.2 kW/High-speed rotation） 0.29（1.8 kW） | 0.7 |
| Revolution speed range | min‐1 | 6,000 ～ 60,000（1.2 kW/1.8 kW） 20,000 ～ 80,000（High-speed rotation) | 3,000 ～ 30,000 | |
| Machine dimensions(W×D×H) | mm | 1,200 × 1,900 × 1,800 | ||
| Machine weight | kg | Approx. 2,750 | ||
※ 為了改善，機(jī)器的外觀，特征，規(guī)格等本公司可能在未預(yù)先通知用戶的情況下實(shí)施變更。 ※ 機(jī)器的使用條件，請先確認(rèn)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格書。
Product Lineup
| Machine type |
| Spindle |
| C/T |
| Machine dimentions（W × D × H） |
| Machine weight（kg） |
| DFD6240 | DFD6340 | DFD6341 | DFD6361 | DFD6362 | DFD6363 | DFD6450 | DFD6560 | DFD6561 | DFD6750 |
| 全自動(dòng) | 全自動(dòng) | 全自動(dòng) | 全自動(dòng) | 全自動(dòng) | 全自動(dòng) | 全自動(dòng) | 全自動(dòng) | 全自動(dòng) | 全自動(dòng) |
| 1 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 |
| 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 2 |
| 900 × 1,190 × 1,800 | 1,180 × 1,110 × 1,850 | 1,180 × 1,080 × 1,820 | 1,200 × 1,550 × 1,800 | 1,200 × 1,550 × 1,800 | 1,200 × 1,550 × 1,800 | 1,120 × 1,500 × 1,600 | 1,240 × 1,550 × 1,960 | 1,240 × 1,550 × 1,960 | 1,510 × 1,554 × 1,800 |
| 1,200 | 1,600 | 1,500 | 2,050 | 2,050 | 1,800 | 1,400 | 1,640 | 1,500 | 2,200 |
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