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詳細介紹
并列式雙主軸全自動切割機
- Φ200 mm
- 并列式雙主軸
- Package Singulation
迪思科公司*的并列式雙主軸結構
DFD6450是2主軸平行設置的并列式雙主軸全自動切割機。即傳承了以往機型（DFD651）的基本加工理念，又是具有良好的操作性，高質量加工的 DFD6000系列的新機型。適用于硅以及化合物半導體等半導體元器件，陶瓷等電子元器件，玻璃等光學零部件的切割/開槽等各種工藝的加工。并列式雙主軸結構是迪思科公司*的技術，因為采用了后部主軸支撐，所以主軸前部預留的空間較大，便于切割刀片的更換以及維護保養。另外，還適用于封裝基板的多刀切割加工等特殊的應用領域。
提高操作便利性
通過搭載15英寸LCD觸摸屏及圖形用戶接口GUI（Graphical User Interface），提高了操縱性。為了提高更換切割刀片時的操作效率，采用了自動主軸鎖定機構。除此之外，搭載了切割水流量監視功能，可以按照不同的加工參數，分別設定切割水的流量。
主軸陣容
可以根據圓晶和加工應用的需要，從多個主軸中選擇的主軸。
- 【標準主軸】
1.0 kW空氣主軸
（適用于2英寸切割刀片，扭矩: 0.16 N?m） - 【選用主軸】
1.0 kW高扭矩空氣主軸
（適用于2英寸切割刀片，扭矩: 0.24 N?m）
2.2 kW空氣主軸
（適用于3英寸切割刀片，扭矩: 0.7 N?m）
充實的選配項目
在維持與以往機型相同占地面積的前提下，通過改進設備的布局，實現內置變壓器，UPS（緊急供電裝置）、CO2 Injector和升壓泵。另外也可以選擇在清洗加工物時可高效發揮清洗效果的離心清洗部位水氣二流體清洗機構（技術第3410385號），以及防止搬運晶圓時產生靜電的負離子發生器（ionizer）。
加工物流程系統
- 下取物手臂將加工物從晶圓盒中取出，在預校準臺進行中心定位作業后，搬運到工作臺 → 切割 →
- 上取物手臂將加工物從工作臺搬運到離心清洗臺 → 清洗，干燥 →
- 下取物手臂將加工物送回晶圓盒內
Specifications
| Specification | Unit | 1.0 kW | 2.2 kW | |
|---|---|---|---|---|
| Max. workpiece size | - | Φ8 inch | ||
| X-axis | Cutting range | mm | 250 | |
| Cutting speed | mm/s | 0.1 ～ 600 | ||
| Y1-axis | Cutting range | mm | 250 | |
| Index step | mm | 0.0001 | ||
| Positioning accuracy | mm | Within 0.003/250 (Single error) Within 0.002/5 | ||
| Y2-axis | Cutting range | mm | 30 | |
| Index step | mm | 0.0001 | ||
| Positioning accuracy | mm | Within 0.002/30 | ||
| Z-axis | Max. stroke | mm | 35.2 | |
| Moving resolution | mm | 0.00005 | ||
| Repeatability accuracy | mm | 0.001 | ||
| θ-axis | Max. rotating angle | deg | 380 | |
| Spindle | Rated output | kW | 1.0 | 2.2 |
| Rated torque | N?m | 0.16, 0.24 (higher torque) | 0.7 | |
| Revolution speed range | min-1 | 6,000 ～ 60,000? 3,000 ～ 40,000 (higher torque) | 3,000 ～ 30,000 | |
| Machine dimensions(W×D×H) | mm | 1,120 x 1,500 x 1,600 | ||
| Machine weight | kg | Approx. 1,400 | ||
※ 為了改善，機器的外觀，特征，規格等本公司可能在未預先通知用戶的情況下實施變更。
※ 機器的使用條件，請先確認標準規格書。
Product Lineup
| Machine type |
| Spindle |
| C/T |
| Machine dimentions（W × D × H） |
| Machine weight（kg） |
| DFD6240 | DFD6340 | DFD6341 | DFD6361 | DFD6362 | DFD6363 | DFD6560 | DFD6561 | DFD6750 | DFD6760 |
| 全自動 | 全自動 | 全自動 | 全自動 | 全自動 | 全自動 | 全自動 | 全自動 | 全自動 | 全自動 |
| 1 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 |
| 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 2 | 2 |
| 900 × 1,190 × 1,800 | 1,180 × 1,110 × 1,850 | 1,180 × 1,080 × 1,820 | 1,200 × 1,550 × 1,800 | 1,200 × 1,550 × 1,800 | 1,200 × 1,550 × 1,800 | 1,240 × 1,550 × 1,960 | 1,240 × 1,550 × 1,960 | 1,510 × 1,554 × 1,800 | 1,200 × 1,900 × 1,800 |
| 1,200 | 1,600 | 1,500 | 2,050 | 2,050 | 1,800 | 1,640 | 1,500 | 2,200 | 2,800 |
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