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詳細介紹
適用于8英寸加工物的手動切割機的標準機型
- Φ200 mm
- 單主軸
高生產效率
X，Y，Z軸全部采用伺服電機，實現了軸的高速化和生產效率的提高。
| 以往機型(DAD3240) | DAD3241 | |
|---|---|---|
| X軸 | 600 | 800 |
| Y軸 | 170 | 200 |
| Z軸 | 80 | 80 |
mm/s
因標準配置的Y軸光柵尺而提高了步進精度。并且，通過搭載PC驅動以強化通訊控制和軟件功能，新型非接觸式測高（Non-Contact Setup）以提高測量精度和縮短測量時間。
可對應大型加工物
搭載JIG工作臺，可對應8×8英寸方形加工物（選配）。
高加工適應性
搭載高轉矩1.8 kW的主軸，可適用于從硅到陶瓷等難切割材料的廣泛加工。
節省占地面積的設計
寬度僅為650 mm，適用于直徑8英寸加工物的超小型手動切割機。
便捷的保養特性
配置了顯微鏡鏡頭專用擋板和吹氣清潔裝置，可以降低保養頻率，并提高機器的使用效率。
操作簡便
- XIS(Extended Interface System)
操作按鈕集中于顯微鏡頁面 - Wafer mapping
與全自動機型相同，以圖示顯示切割的進度狀態 - Log viewer
以圖示表示類比數據，可視化切割參數 - Help viewer
異常發生時顯示對應措施，有助于迅速切實地恢復設備狀態
Specifications
| Specification | Unit | ||
|---|---|---|---|
| Max. workpiece size | - | Φ8 inch (200 mm × 200 mm user-specified specification) | |
| X-axis | Cutting range | mm | 210 |
| Cutting speed | mm/s | 0.1～800 | |
| Y-axis | Cutting range | mm | 210 |
| Index step | mm | 0.0001 | |
| Index positioning accuracy | mm | 0.002/210 (Single error) 0.002/5 | |
| Z-axis | Max. stroke | mm | 32.2 |
| Moving resolution | mm | 0.000002 | |
| Repeatability accuracy | mm | 0.001 | |
| θ-axis | Max. rotating angle | deg | 320 |
| Spindle | Rated output | kW | 1.8 at 60,000 min-1 |
| Rated torque | N?m | 0.29 | |
| Revolution speed range | min‐1 | 6,000 ～ 60,000 | |
| Machine dimensions(W×D×H) | mm | 650 × 950 × 1,670 | |
| Machine weight | kg | Approx.550 | |
※ 為了改善，機器的外觀，特征，規格等本公司可能在未預先通知用戶的情況下實施變更。
※ 機器的使用條件，請先確認標準規格書。
Product Lineup
| Machine type |
| Spindle |
| C/T |
| Machine dimentions（W × D × H） |
| Machine weight（kg） |
| DAD323 | DAD324 | DAD3220 | DAD3221 | DAD3230 | DAD3231 | DAD3240 | DAD3350 | DAD3351 | DAD3360 | DAD3361 | DAD3430 | DAD3431 | DAD3650 | DAD3651 | DAD3660 | DAD3661 |
| 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 |
| 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 2 | 2 | 2 | 2 |
| 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 |
| 490 × 870 × 1,600 | 490 × 870 × 1,670 | 500 × 900 × 1,670 | 490 × 870 × 1,670 | 730 × 900 × 1,670 | 650 × 950 × 1,670 | 650 × 950 × 1,600 | 900 × 1,050 × 1,800 | 880 × 1000 × 1,800 | 880 × 1,000 × 1,800 | 880 × 1,000 × 1,800 | 730 × 900 × 1,670 | 730 × 900 × 1,670 | 790 × 790 × 1,890 | 790 × 790 × 1,800 | 1,350 × 1,200 × 1,890 | 1,350 × 1,200 × 1,800 |
| 400 | 420 | 550 | 420 | 600 | 550 | 530 | 1,200 | 1,100 | 1,100 | 1,100 | 600 | 600 | 1,100 | 1,040 | 1,500 | 1,550 |
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