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更新時間：2023-10-07 16:32:00瀏覽次數：309次

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光學膜厚量測儀: 反射式膜厚儀橢偏儀干涉式膜厚儀

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產品簡介

橢偏儀theta-SE多點量測橢偏儀是一種用於表徵薄膜均勻性的光譜式橢偏儀

詳情介紹

橢偏儀
theta-SE 多點量測橢偏儀是一種用於表徵薄膜均勻性的光譜式橢偏儀。它以實惠的價格在緊湊的空間中配備了先進的橢偏量測與電控平臺，達到多點量測wafer的功能，藉此測得多點橢偏參數，與多點的薄膜厚度和折射率數值。具有體積小、數據快速取得、光斑小、軟體操作介面容易等特點，為的多點量測橢偏儀。
多點量測橢偏儀Theta-SE(橢圓儀)特點