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4軸圓柱坐標潔凈機械手臂

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參考價 面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 型號 STCR4000SN
  • 品牌
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
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更新時間:2022-12-16 10:27:14瀏覽次數(shù):505

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產(chǎn)品簡介

3個新功能:采用閉環(huán)位置控制電機配備值編碼器編碼器不需要更換電池

詳細介紹

特點

    對閉壞控制方式機械手臂加上疑似多軸規(guī)格。
    沒有水平移動軸也能夠搬運到并立配置的開閉安全門臺,由于布局設(shè)計運用自如,降低成本。
    *加上揭載了搬運介紹動畫疑似多軸規(guī)格

    使用了搭載機械式值編碼器的步進電機,采用了創(chuàng)新的閉環(huán)控制技術(shù)的新產(chǎn)品,雙手臂結(jié)構(gòu),晶圓搬運效率更高
    適用于超級潔凈間要求的4軸圓柱坐標潔凈機械手臂
    在保持高性價比和高速傳輸特性的基礎(chǔ)上,解決了步進電機常見的丟步問題,適用于2寸-300 mm晶圓傳輸?shù)男滦碗p臂機械手臂

  • 采用即使在負載發(fā)生突變或者加減速過大的情況也能夠避免電機丟步現(xiàn)象的閉環(huán)控制方式,有效地提高了機械手臂的可靠性
  • 電機配備值編碼器,機械手臂能夠在任何情況下知道自己的當前位置,縮短了機械手臂各動作軸尋找自身位置原點的時間
  • 值編碼器為機械式,不需要更換電池
  • 可以和舊型號的本司產(chǎn)品兼容(安裝尺寸,性能互換),方便客戶對現(xiàn)有設(shè)備的升級改造
  • 高強度手臂?手臂第3關(guān)節(jié)處可承受3 kgf力(包含腕部機構(gòu)模塊,手指,晶圓的重量)
  • 機械手臂標準臂長:100 mm, 130 mm, 160 mm, 200 mm
  • Z軸(升降軸)標準長度:200 mm,300 mm,400 mm,500 mm
  • 可根據(jù)設(shè)備布局選擇基座固定方式,或法蘭固定方式
  • 可選伯努利方式手指(Option)

應(yīng)用設(shè)備實例

EFEM,PE-CVD設(shè)備,AOI設(shè)備

規(guī)格
被搬運物 2, 3 寸, 100~300 mm 晶圓 (其他可根據(jù)特殊晶圓的形狀,材質(zhì)為客戶提供靈活的定制設(shè)計)
  手臂 旋轉(zhuǎn) 升降
可動范圍*
(手臂第3關(guān)節(jié)中心基準)
315 mm 340度 300 mm
搬運速度 (平均速度)* 570 mm/sec 220度/sec 200 mm/sec
搬運速度 (速度)* 1140 mm/sec 270度/sec 250 mm/sec
精度* 10.0µm以下 0.0015度 2.0µm
重復(fù)性精度 ±0.1 mm以內(nèi)
潔凈度 ISO標準 Class 2 (驅(qū)動結(jié)構(gòu)內(nèi)部獨立排氣條件下)
廠務(wù) 電源:DC24V±10% 10A
真空:優(yōu)于-53 kPa

*測試機型:STCR4160SN,使用JEL標準真空吸附式手指

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