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北京銳潔機(jī)器人科技有限公司>>大氣潔凈機(jī)械手臂>>STCR4000SN4軸圓柱坐標(biāo)潔凈機(jī)械手臂

4軸圓柱坐標(biāo)潔凈機(jī)械手臂

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  • 4軸圓柱坐標(biāo)潔凈機(jī)械手臂

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  • 型號(hào) STCR4000SN
  • 品牌
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
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更新時(shí)間:2022-12-16 10:27:14瀏覽次數(shù):502

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

3個(gè)新功能:采用閉環(huán)位置控制電機(jī)配備值編碼器編碼器不需要更換電池

詳細(xì)介紹

特點(diǎn)

    對(duì)閉壞控制方式機(jī)械手臂加上疑似多軸規(guī)格。
    沒(méi)有水平移動(dòng)軸也能夠搬運(yùn)到并立配置的開(kāi)閉安全門臺(tái),由于布局設(shè)計(jì)運(yùn)用自如,降低成本。
    *加上揭載了搬運(yùn)介紹動(dòng)畫(huà)疑似多軸規(guī)格

    使用了搭載機(jī)械式值編碼器的步進(jìn)電機(jī),采用了創(chuàng)新的閉環(huán)控制技術(shù)的新產(chǎn)品,雙手臂結(jié)構(gòu),晶圓搬運(yùn)效率更高
    適用于超級(jí)潔凈間要求的4軸圓柱坐標(biāo)潔凈機(jī)械手臂
    在保持高性價(jià)比和高速傳輸特性的基礎(chǔ)上,解決了步進(jìn)電機(jī)常見(jiàn)的丟步問(wèn)題,適用于2寸-300 mm晶圓傳輸?shù)男滦碗p臂機(jī)械手臂

  • 采用即使在負(fù)載發(fā)生突變或者加減速過(guò)大的情況也能夠避免電機(jī)丟步現(xiàn)象的閉環(huán)控制方式,有效地提高了機(jī)械手臂的可靠性
  • 電機(jī)配備值編碼器,機(jī)械手臂能夠在任何情況下知道自己的當(dāng)前位置,縮短了機(jī)械手臂各動(dòng)作軸尋找自身位置原點(diǎn)的時(shí)間
  • 值編碼器為機(jī)械式,不需要更換電池
  • 可以和舊型號(hào)的本司產(chǎn)品兼容(安裝尺寸,性能互換),方便客戶對(duì)現(xiàn)有設(shè)備的升級(jí)改造
  • 高強(qiáng)度手臂?手臂第3關(guān)節(jié)處可承受3 kgf力(包含腕部機(jī)構(gòu)模塊,手指,晶圓的重量)
  • 機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長(zhǎng):100 mm, 130 mm, 160 mm, 200 mm
  • Z軸(升降軸)標(biāo)準(zhǔn)長(zhǎng)度:200 mm,300 mm,400 mm,500 mm
  • 可根據(jù)設(shè)備布局選擇基座固定方式,或法蘭固定方式
  • 可選伯努利方式手指(Option)

應(yīng)用設(shè)備實(shí)例

EFEM,PE-CVD設(shè)備,AOI設(shè)備

規(guī)格
被搬運(yùn)物 2, 3 寸, 100~300 mm 晶圓 (其他可根據(jù)特殊晶圓的形狀,材質(zhì)為客戶提供靈活的定制設(shè)計(jì))
  手臂 旋轉(zhuǎn) 升降
可動(dòng)范圍*
(手臂第3關(guān)節(jié)中心基準(zhǔn))
315 mm 340度 300 mm
搬運(yùn)速度 (平均速度)* 570 mm/sec 220度/sec 200 mm/sec
搬運(yùn)速度 (速度)* 1140 mm/sec 270度/sec 250 mm/sec
精度* 10.0µm以下 0.0015度 2.0µm
重復(fù)性精度 ±0.1 mm以內(nèi)
潔凈度 ISO標(biāo)準(zhǔn) Class 2 (驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)內(nèi)部獨(dú)立排氣條件下)
廠務(wù) 電源:DC24V±10% 10A
真空:優(yōu)于-53 kPa

*測(cè)試機(jī)型:STCR4160SN,使用JEL標(biāo)準(zhǔn)真空吸附式手指

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