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3軸圓柱坐標型潔凈機械手臂

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具體成交價以合同協議為準
  • 型號 SCR3000CS
  • 品牌
  • 廠商性質 生產商
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更新時間:2022-12-16 10:20:07瀏覽次數:479

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產品簡介

超潔凈無塵間用3軸圓柱坐標型潔凈機械手臂SCR3000CS系列適用于半導體生產設備內部,檢測設備等的晶圓搬運

詳細介紹

特點

    產品,穩定性好,性價比高

  • 機械手臂標準臂長:100 mm,130 mm,160 mm,200 mm
  • Z軸(升降軸)標準長度:200 mm,300 mm,400 mm,500 mm
  • 可搬運重量:手臂第3關節處基準3 kgf以下
  • 適應設備需求可以選擇底座固定方式,或者法蘭固定方式
  • 配備動作監視器
  • 控制通訊方式:RS232C及并口I/O方式
  • 全軸采用2相步進電機
  • S曲線加減速控制方式能夠高速,高精度地搬運半導體晶圓
  • 晶圓固定方式:真空吸附式,下托式,邊緣夾持式,伯努利非接觸式
  • 手指材質:CFRP(碳纖維),鋁合金,高純度陶瓷等多種可選材質
  • 可以針對被搬運物體種類,設備布局等要求提供優選的手指

應用設備實例

EFEM,PE-CVD設備,AOI設備

規格
被搬運物 ?300 mm晶圓
  手臂 旋轉 升降
可動范圍*
(手臂第3關節中心基準)
340 mm 340度 300 mm
搬運速度 (平均速度)* 610 mm/sec 340度/sec 250 mm/sec
搬運速度 (速度)* 1220 mm/sec 500度/sec 320 mm/sec
精度* 12.6µm以下 0.0045度 6.25 µm
搬運高度* 536mm (底座固定面到手指上的晶圓安裝面的高度)
重復性精度 ±0.1 mm以內
潔凈度 ISO標準 Class 2 (驅動結構內部獨立排氣條件下)
廠務 電源:DC24V±10% 15A  真空:優于-53 kPa

*測試機型:SCR3160CS-300-PM,使用JEL標準真空吸附式手指

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