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3軸圓柱坐標型潔凈機械手臂

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參考價 面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 型號 SCR3000CS
  • 品牌
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地

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更新時間:2022-12-16 10:20:07瀏覽次數(shù):481

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產(chǎn)品簡介

超潔凈無塵間用3軸圓柱坐標型潔凈機械手臂SCR3000CS系列適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部,檢測設(shè)備等的晶圓搬運

詳細介紹

特點

    產(chǎn)品,穩(wěn)定性好,性價比高

  • 機械手臂標準臂長:100 mm,130 mm,160 mm,200 mm
  • Z軸(升降軸)標準長度:200 mm,300 mm,400 mm,500 mm
  • 可搬運重量:手臂第3關(guān)節(jié)處基準3 kgf以下
  • 適應(yīng)設(shè)備需求可以選擇底座固定方式,或者法蘭固定方式
  • 配備動作監(jiān)視器
  • 控制通訊方式:RS232C及并口I/O方式
  • 全軸采用2相步進電機
  • S曲線加減速控制方式能夠高速,高精度地搬運半導(dǎo)體晶圓
  • 晶圓固定方式:真空吸附式,下托式,邊緣夾持式,伯努利非接觸式
  • 手指材質(zhì):CFRP(碳纖維),鋁合金,高純度陶瓷等多種可選材質(zhì)
  • 可以針對被搬運物體種類,設(shè)備布局等要求提供優(yōu)選的手指

應(yīng)用設(shè)備實例

EFEM,PE-CVD設(shè)備,AOI設(shè)備

規(guī)格
被搬運物 ?300 mm晶圓
  手臂 旋轉(zhuǎn) 升降
可動范圍*
(手臂第3關(guān)節(jié)中心基準)
340 mm 340度 300 mm
搬運速度 (平均速度)* 610 mm/sec 340度/sec 250 mm/sec
搬運速度 (速度)* 1220 mm/sec 500度/sec 320 mm/sec
精度* 12.6µm以下 0.0045度 6.25 µm
搬運高度* 536mm (底座固定面到手指上的晶圓安裝面的高度)
重復(fù)性精度 ±0.1 mm以內(nèi)
潔凈度 ISO標準 Class 2 (驅(qū)動結(jié)構(gòu)內(nèi)部獨立排氣條件下)
廠務(wù) 電源:DC24V±10% 15A  真空:優(yōu)于-53 kPa

*測試機型:SCR3160CS-300-PM,使用JEL標準真空吸附式手指

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