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詳細介紹
產品說明
採用點雷射自動聚焦方式（符合ISO25178-605 Point Autofocus Probe量測原理），雷射聚焦樣品表面掃描，當使用x100物鏡聚焦樣品表面時雷射光點尺寸(Spot size)φ1um，可量測微結構表面形貌。
PF-60 屬於基礎研究用掃描式表面輪廓儀，量程X/Y/Z為60/60/10mm且三軸都用光學尺解析，樣品放置空間X/Y/Z為200/200/60mm，適合各種產業小樣品量測需求。
對於小尺寸陣列樣品量測，例如Micro Lens Array, Pattern Step Height…等，可加購MACRO量測軟體達到自動化量測需求。
特色
- 適合量測材料：鑽石、透明、液態膠狀、石墨黑、陶瓷白…等表面輪廓。
- 一次量測樣品同時解析幾何輪廓與表面粗度數據。
- 適合量測工件：PCB、Wafer、Lens、刀具、螺桿、軸承、螺牙…等，需量測表面粗度或微結構輪廓。
- 標準分析軟體：2D/3D輪廓及粗度分析、平面度分析。
- 選購分析軟體：批次分析、2D/3D CAD比對軟體、非球面評價軟體。
規格
表面輪廓儀 PF-60
| X軸 | Y軸 | AF(Z1)軸 （量測用） | Z2軸 （定位用） | ||
| 量測距離 | 60mm | 60mm | 10mm | 60mm | |
| 定位分辨率 | 0.1µm | 0.1µm | 0.01µm | 0.1µm | |
| 尺 | 光學尺 | 光學尺 | 光學尺 | 脈衝 | |
| 精度 | (2+4L/1000) µm | (2+4L/1000) µm | (0.3+0.5L/10) µm | ||
| 光學自動對焦系統 | 重現性 | σ=0.03µm（鏡面（樣品）表面） | |||
| 聚焦範圍 | ? 1µm（搭配100X 物鏡） | ||||
| 雷射 | 半導體雷射(O/P: 1mW Max λ : 635nm class 2) | ||||
| 量測用物鏡 | 100X (WD=3.4mm NA=0.8) 觀察倍率:約1100倍（9吋螢幕） | ||||
| 定位用物鏡 | 5X滑動機構[視野範圍] | ||||
| 落射照明 | 科勒照明（光源: 白LED） | ||||
| 其他 | XY平臺尺寸 | 210x210mm | |||
| 樣品尺寸 | 70mm（含自動對焦單元的高度 100 mm） | ||||
| 樣品重量 | 4kg | ||||
| 儀器尺寸 | 400x400x450mm | ||||
| 避震器 | 3點支撐墊（振盪 橫向：3.5 垂直：4Hz） | ||||
| 儀器重量 | 31kg | ||||
科勒照明是提供由聚焦和定心的光路和在視場中均勻地分散其的對比度和分辨率的方法
印刷電路板表面形貌量測
印刷電路板是電子工業之母，傳統上，每個階段的加工檢驗都需要使用不同的或是手法進行量測，我們提供非接觸式的輪廓掃描方法，可以大面積，大範圍的掃瞄表面輪廓。
PCB盲孔孔型量測
鑽孔由於會有擴孔的現象，造成孔徑的判斷困難，圖1.從顯微鏡觀察雖可以看出孔內有階梯狀結構，但無法量測結構的細節。傳統上會需要使用切片的方式輔助工具顯微鏡，判定孔深，三鷹光器點對焦雷射掃描法，可以量測出孔內的輪廓，XYZ三軸都有光學尺記錄掃描輪廓，讓使用者能精準地判定孔徑，孔深。
圖1 PF-60顯微鏡觀察
圖2. 三鷹光器公司開發點雷射自動聚焦雷射掃描量測法，可以量測出孔內的輪廓，以後對於此類型的孔形，可以不用切片就能直接量測出來了！！
圖2 PCB盲孔斷面掃描輪廓
BGA 表面輪廓掃描：傳統的影像式非接觸式量測法，100X物鏡底下，僅能觀察到100~200 um的範圍，三鷹光器點對焦雷射掃描法，可以量測大範圍的輪廓,不只表面粗糙度，大範圍的面形變化也能一併觀察。
圖3. BGA 量測分析範例。
車刀片刀刃輪廓量測
適配產品 PF-60
圖一 車刀片放置圖示
日本三鷹光器公司對於刀具量測上優勢
- 刀具置放容易
- 快速量測工件
- 樣品高精度掃描
PF-60量測方式依照ISO 25178-605點雷射自動聚焦探針法掃描樣品表面輪廓，首先將樣品依序列置放在刀架治具上如圖一所示，開啟程式並執行量測，量測儀器會依照程式步驟尋找每個被測刀具刀刃位置，並開始執行輪廓掃描。掃描完成後可自動帶入幾何輪廓自動分析軟體，執行自動量測。圖二顯示車刀片R角量測。對於生產過程中品質檢查的提升有很大幫助。
圖二 自動量測刀刃與自動評價分析
程式量測功能除了2D掃描外也可以做3D輪廓掃描（參考圖三），可透過軟體的在分析功能擷取3D數據中的斷面輪廓進行分析，有助於開發單位尋找問題缺陷。
圖三 車刀片3D輪廓掃描
MitakaMap刀具評價軟體功能也非常完善，可依照客戶需求設計自動分析表單，將量測數據做成一專業表單自動輸出，圖四是車刀片量測報告格式範例，內容包含幾何尺寸輪廓，表面粗糙度。軟體評價基準是依照ISO 4278標準規範進行分析。
分析範例如粗度Ra, Rt, Rq…，波紋度 Wa, Wt, Wq…，輪廓度Pa,Pt,Pq…。
對於其他種規格的刀刃量測，歡迎與我們聯繫討輪。
圖四 車刀片報表範例
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