產品型號

OTF-1200X-RTP-II近距離蒸發鍍膜（CSS）爐

本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：設備需選配自循環冷卻水機（加注純凈水或者去離子水）

2、電：AC220V 50Hz（20A空氣開關），必須有良好接地

3、氣：設備腔室內需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（自帶Ø6mm雙卡套接頭）

4、工作臺：設備為落地式，占地面積1m²以上

5、通風裝置：需要

主要特點

1、為了減小熱輻射和達到快速冷卻的效果，加熱元件被嵌在水冷機構上。

2、緊貼頂部加熱元件上裝有一氮化鋁基片（Ø76mm×0.5mm），使得樣品基片上的溫度更加均勻。

3、3″的石墨坩堝可放于底部加熱元件上，用于盛放蒸發料。

4、真空法蘭通過兩個硅膠O型圈進行密封，通過機械泵其腔內真空度可達10^-2torr，通過分子泵真空度可達10^-5 torr。

5、兩個真空法蘭都可以通過手動操作進行上下移動。

6、一個數字式真空顯示計安裝在法蘭頂部，可以精確測量腔內真空度。

技術參數

1、電源：單相AC208V-240V（需20A的空氣開關）

2、真空腔體：高純石英管，外徑280mm，內徑275mm，高229mm

3、加熱元件：兩組IR紅外燈管，額定功率800W，總功率1600W

4、熱電偶：S型熱電偶2個，分別安裝于上下法蘭上

5、工作溫度：兩個加熱區域單獨工作的高溫度≤650℃，兩加熱區域大溫差≤350℃

6、加熱速率：>8℃/s

7、冷卻速率：>10℃/s（600℃-100℃）

8、真空法蘭：316不銹鋼制作，配有1個KF-25接口、2個1/4″軟管接頭

9、真空計：數字式真空顯示計

可選配件

1、PC控溫軟件

2、兩路混氣系統

3、多路浮子混氣系統

4、多路質子混氣系統

5、真空泵

6、水冷機