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沈陽科晶自動化設備有限公司
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OTF-1200X-RTP-II近距離蒸發鍍膜(CSS)爐

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具體成交價以合同協議為準

產品型號

品       牌 沈陽科晶/KEJING

廠商性質生產商

所  在  地

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更新時間:2021-03-15 19:04:40瀏覽次數:358次

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OTF-1200X-RTP-II近距離蒸發鍍膜(CSS)爐

產品簡介:OTF-1200X-RTP-II近距離蒸發鍍膜(CSS)爐是一款快速蒸發管式爐,專門用于PVDCSS法制作薄膜;其爐管外徑為11″,爐管內載樣盤可放置3″ 的圓形或2″×2″的方形基片;OTF-1200X-RTP-II近距離蒸發鍍膜(CSS)爐加熱元件為兩組紅外燈管,分別安裝在腔體頂端和底部,升溫速率高達20/s ,可迅速使爐腔內溫度升高冷卻速率:>10/s,可在鍍膜后使樣品快速降溫;溫控系統采用PID30段程序化控制,控溫精度為±1,并且儀器面板上帶有RS485接口,若儀表內配有控溫軟件,就可將升溫程序和曲線導出

 

產品型號

OTF-1200X-RTP-II近距離蒸發鍍膜(CSS)爐

安裝條件

本設備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:設備需選配自循環冷卻水機(加注純凈水或者去離子水)

2、電:AC220V 50Hz(20A空氣開關),必須有良好

3、氣:設備腔室內需充注氬氣(純度99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(自帶Ø6mm雙卡套接頭)

4、工作臺:設備為落地式,占地面積1m2以上

5、通風裝置:需要

主要特點

1為了減小熱輻射和達到快速冷卻的效果,加熱元件被嵌在水冷機構上

2貼頂部加熱元件上裝有一氮化鋁基片(Ø76mm×0.5mm),使得樣品基片上的溫度更加均勻

33″石墨坩堝可放于底部加熱元件上,用于盛放蒸發料

4真空法蘭通過兩個硅膠O型圈進行密封,通過機械泵其腔內真空度可達10-2torr,通過分子泵真空度可達10-5 torr

5兩個真空法蘭都可以通過手動操作進行上下移動。

6一個數字式真空顯示計安裝在法蘭頂部,可以精確測量腔內真空度。

技術參數

1電源:單相AC208V-240V(需20A的空氣開關)

2、真空腔體:高純石英管,外徑280mm,內徑275mm,高229mm

3、加熱元件:兩組IR紅外燈管,額定功率800W,總功率1600W

4、熱電偶:S型熱電偶2個,分別安裝于上下法蘭上

5、工作溫度:兩個加熱區域單獨工作的高溫度≤650℃,兩加熱區域大溫差≤350

6、加熱速率:>8/s

7、冷卻速率:>10/s600-100℃)

8、真空法蘭:316不銹鋼制作,配有1KF-25接口、21/4軟管接頭

9、真空計:數字式真空顯示計

可選配件

1PC控溫軟件

2、兩路混氣系統

3多路浮子混氣系統

4多路質子混氣系統

5真空泵

6水冷機

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