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沈陽科晶自動化設備有限公司
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GSL-1800X-ZF4蒸發鍍膜儀

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具體成交價以合同協議為準

產品型號

品       牌 沈陽科晶/KEJING

廠商性質生產商

所  在  地

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更新時間:2021-03-15 19:00:59瀏覽次數:379次

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GSL-1800X-ZF4蒸發鍍膜儀

產品簡介:GSL-1800X-ZF4蒸發鍍膜儀是一款高真空的蒸發鍍膜儀,特別適合蒸鍍對氧較敏感的金屬膜(如Ti、Al 、Au等)和小分子的有機物。本機設有4個蒸鍍加熱舟,每個加熱舟都可獨立進行蒸鍍,加熱舟上方有一個可旋轉擋板,當其中一個加熱舟進行蒸鍍時擋板將其它三個鎢舟遮住,以防蒸鍍材料之間相互污染。若更改部分配置也可實現對有機材料的蒸發鍍膜,可滿足發光器件及有機太陽能電池方面的研究要求,是一款鍍膜效果理想且性價比較高的實驗設備。GSL-1800X-ZF4蒸發鍍膜儀腔底部配有5個水冷電極,在工作過程中可有效保護電極溫度不會因溫度過高而熔化,進而損壞電極。該機采用金屬腔室,具有*的真空度,真空度可達到5.0×10-7torr,樣品臺可對樣品進行加熱,加熱溫度為室溫-500℃,是進行高真空蒸發鍍膜的設備。

產品名稱

GSL-1800X-ZF4蒸發鍍膜儀

產品型號

GSL-1800X-ZF4

安裝條件

本設備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:設備配有自循環冷卻水機(加注純凈水或者去離子水)

2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地

3、工作臺:落地式,占地面積2m2以上。

4、通風裝置:需要

主要特點

1、真空控制單元全部集合在一個控制盒內。

2、采用獨立的蒸鍍電流控制器,操作方便快捷。

3、真空腔體設有1個KF40旁抽閥(直接與前級機械泵相連,提高效率)、1個CF150閘板閥(直接與分子泵相連)、1個KF16法蘭(安裝電阻規)、6個CF35法蘭(1個安裝電離規,1個安裝2芯電極,1個安裝膜厚儀)
3個備用。

4、在腔體底部配有5個水冷電極,可支持4個蒸鍍加熱舟。

5、樣品臺安裝在腔體的頂部。

6、腔內可裝高分辨率的薄膜測厚儀,膜厚測量分辨率(鋁)為0.1Å。

7、可使用循環水冷機。

技術參數

1、輸入:單相AC220V,50Hz/60Hz,功率<2.16KW(不含真空泵)

2、蒸發輸出:電壓AC 0-8V連續可調,極限蒸發電流200A,極限蒸發功率<1.6KW

3、真空腔:Ø300mm(內徑)×400mm,不銹鋼,內壁經電拋光處理

4、觀察窗:Ø100mm,采用密封圈密封

5、真空泵:高抽速渦輪分子泵,抽速600L/s

6、真空度:8.0x10-4Pa

7、極限真空8.0x10-5Pa

8、漏率:6.7×10-8Pa·L/S

9、樣品臺:φ120

10、蒸發舟與樣品臺間距:150-210mm

11、冷卻水需量:15L/min

產品規格

尺寸:900mm×1100mm×1800mm;重量:230kg

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