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大型雙面研磨機

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更新時間:2017-11-05 19:52:32瀏覽次數:1272

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產品簡介

該機主要用于硅片、砷化鎵片、陶瓷片、光學玻璃、半導體板、石英晶體、五金密封件、光電玻璃及其他硬脆材料的雙面高精度研磨、拋光

詳細介紹

主要特點:

  1.進口變頻器配合變頻電機拖動,實現了軟啟動,軟停止,調速穩定,沖擊小。
  2.采用二電機同步拖動,可選擇游星輪的變速范圍更廣,能適用不同的研磨材料及研磨工藝的要求。
  3.單獨電機抬升內齒圈,并在總行范圍內隨意停留,滿足了取放工件及調整游星輪嚙合位置的要求。通過調節太陽輪座上的三組不同的厚度的不銹鋼片改變太陽輪高度,調整方法簡便。
  4.采用國內*的防腐技術對齒圈座的下磨盤座進行處理,大大提高了其耐蝕性,繼而也提高并能*保證底座安裝精度。
  5.電氣系統采用可靠性高的PLC實現。氣動系統全部選用高品質的元件,主氣缸為精密低摩擦力氣缸,壓力調整采用高動態特性的進口電氣比例閥元件。
  6.壓力調整采用電氣比例閥與拉力傳感器實現了閉環反饋控制,其靜態調整精度<2Kg,動態壓力波動<30Kg。可提高工件尤其是薄形工件的加工穩定性,進而確保提高元件加工精度及合格率。
  7.人機界面(HMI)顯示與PLC主控制器結合,一方面顯示運行參數,另一方面通過其他觸摸鍵調整設定各項參數,主操作由普通鍵鈕完成。
  8.采用自動潤滑裝置,用戶可根據自己的使用情況,設定自動潤滑時間,使機器的各相對運動表面,齒輪嚙合部位得到充分潤滑,大大提高了整機的使用壽命。
  9.研磨機配置了高精度的測厚裝置,工件加工的動態情況通過HMI隨時可見。
  10.可根據用戶的加工工藝要求,選裝拋光液溫度調節裝置(單制或雙制均可)。

 

主要技術參數

磨盤轉速: 0~60rpm
游行輪參數:公制M=3Z=154a=20°
游行輪數量:5
zui小研磨厚度:5/Φ200mm,0.4/Φ150mm
zui大可控研磨厚度:20mm(可根據要求特殊定制)
zui大研磨直徑:Φ400mm
主電機:15KW4級三相AC380V
太陽輪電機:1.5KW4級三相AC380V
內齒圈電機:1.5KW4級三相AC380V
氣源:0.5~0.7Mpa
外型尺寸:2500×1650×3000mm
機器重量:~7000kg
砂泵電機(帶攪拌):4KWAC380V
主機精度
下研磨盤端面跳動:0.08mm
淹沒面平面度:0.02mm
太陽輪徑向跳動:0.20mm
內齒圈徑向跳動:0.25mm
加工精度(四個修正輪修研后)
*性:0.008mm
平面度:0.005m
平行度:0.006mm
加工能力
單片承片量:Φ1704片,Φ2002
整盤承片量:Φ17020片,Φ20010

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