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詳細介紹
| ES－CMM（手動）技術參數 | ||
| 行程范圍 | 500mm×600mm×400mm | |
| 分辨率 | 0.5um | |
| 使用環境 | 溫度（20℃±2℃）溫度55%－56% | |
| 空氣壓力 | 0.4MPa-0.5MPa | |
| 空氣流量 | 100L/min-120L/min | |
| 整機尺寸 | 1.2m×1.4m×2.2m | |
| 整機承重 | 500kg | |
| 整機重量 | 850kg | |
| 控制軟件 | CMM-Manager（美國IQ） | |
| 探測系統 | RENISHAW（英國）MH20I TP20 | |
| 空間探測精度（E） | （3.5 L/300）um | |
| ES－CMM全自動（CNC）技術參數 | |||
| 型號 | ES-CMM 1086 | ES-CMM 1218 | ES-CMM 1525 |
| 行程 X軸 | 800mm | 1000mm | 1200mm |
| Y軸 | 1000mm | 1200mm | 1500mm |
| Z軸 | 600mm | 800mm | 1000mm |
| 結構模式 | 活動橋式 | ||
| 傳動方式 | 直流伺服系統/預載荷高精度空氣軸承 | ||
| 長度測量系統 | RENISHAW開放式光柵尺，分辨率為0.5um（可選配0.1um） | ||
| 機臺 | 高精度花崗石平臺（00級） | ||
| 使用環境 | 溫度（20 /-2）度，溫度55%-66%，溫度梯度1度/米,溫度變化1度/小時 | ||
| 空氣壓力 | 0.4MPa-0.5MPa | ||
| 空氣流量 | 100L/min-120L/min | ||
| 整機尺寸（LWH） | 2.0mx1.5mx2.7m | 2.3mx1.8mx3.0m | 2.6mx2.1mx3.3m |
| 機臺承重 | 1000kg | ||
| 整機重量 | 2000kg | 2200kg | 2500kg |
| 控制系統 | RENISHAW UCC1 | ||
| 操作方式 | 計算機自動控制 微電腦操縱盒（RENISHAW MCU1） | ||
| 控制軟件 | CMM-Manager（美國IQ）標準版（可選配CAD模塊） | ||
| 探測系統 | RENISHAW MH20i TP20（標準配置） RENISHAW PH10T TP20（高級配置） RENISHAW PH10M TP20（可加激光掃描測頭，選配） | ||
| 空間測量精度（E） | （3 L/300）um | ||
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