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壓電馬達控制器是直線壓電馬達,內部采用 PZT 壓電式驅動,直線運動行程可選6、10、 25、50、100mm,可達亞納米級分辨率。可選配閉環伺服傳感器(增量式...
壓電納米定位臺是一款三維運動的壓電平 臺,行程可高達 100μm,適用于小型樣品的三維納米定位應用。
二維壓電納米定位臺采用機構放大設計原理,柔性鉸鏈連接支撐傳動,內部采用高可靠性壓電陶瓷驅動,實現X,Y軸200μm的位移,可以配置閉環傳感實現高精度掃描與定位。...
一維納米定位臺,為一維×向運動壓電平臺,可進行10~200um范圍內的納米級位置調整。
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