等離子體的發(fā)生技術主要有：直流電暈放電法、脈沖電暈放電法、介質(zhì)阻擋放電、表面放電，目前常見的放電反應器電暈放電和介質(zhì)阻擋放電的氣體壓強為105Pa，電場強度分別為5×104和102-105，等離子體的產(chǎn)生采用的都是高壓電場放電，對于一些易燃易爆廢氣的處理存在危險性。

低溫等離子體"是電子、化學、催化等綜合作用下的電化學過程，是依靠等離子體在瞬間產(chǎn)生的電場能量電離、裂解氣體的化學鍵能，從而破壞廢氣分子結(jié)構(gòu)，達到凈化目的。

低溫等離子凈化設備能去除揮發(fā)性物（VOC）、無機物、、氨氣、硫醇類等主要污染物，以及各種惡臭味，對于長期彌漫、積累的惡臭、異味，24小時內(nèi)即可祛除，并且具有殺滅空氣中、病毒等各種微生物能力，而且具有明顯的作用。

低溫等離子凈化設備不需任何添加劑，不產(chǎn)生廢水、廢渣，不會導致二次污染。