TC-Wafer高低溫探針臺晶圓測溫系統

【引言】

      探針臺是一個平臺，上面配有微小的探針。這些探針能夠與晶圓表面接觸，從而實時測量晶圓的溫度。作為晶圓測試中的關鍵設備，探針臺的運作原理在于通過其探針與被測器件上的 PAD 點精確對位，以實現測試機輸出激勵信號的互通與信號反饋，最終獲取和采集測試數據。高低溫真空探針臺可以很好的滿足極低溫測試和高溫無氧化測設。在整個測試過程中，工程師們追求以最短的時間獲得可靠的測試數據。

典型的晶圓高低溫測試通常涵蓋溫度范圍從 -45°C 至 150°C，而在晶圓可靠性測試中，溫度可能高達 300°C。然而，隨著探針臺進行溫度變化，由于熱膨脹和冷收縮效應，探針與卡盤之間可能會出現熱漂移，從而影響探針與 PAD 點之間的對準，增加晶圓探針測試的難度。更有一些晶圓測試要求在**溫度環境下，甚至達到 500°C 以上。隨著溫度的升高，探針臺也將面臨更大的溫度范圍測試壓力。

【產品特點及功能】

1、精準測溫能力：在半導體制造過程中，溫度的微小變化都可能對器件的性能產生顯著影響。我們的探針臺晶圓測溫系統通過*的傳感技術，實現高度精準的溫度測量，為生產過程提供即時、準確的數據支持。

2、廣泛適應性：不同制程、不同材料、不同溫度要求，我們都有您所需！我們的系統設計靈活多樣，能夠適應各種工藝條件和應用場景，為您的生產線帶來更大的便利。

3、可靠性與穩定性：我們深知在半導體生產中，穩定性和可靠性是不可妥協的。因此，我們的系統經過嚴格測試和驗證，以確保在長時間運行中保持出色的性能表現。

TC-Wafer高低溫探針臺晶圓測溫系統

智測電子TC-Wafer高低溫探針臺晶圓測溫系統應用于高低溫晶圓探針臺，測量精度可達mk級別，可以多區測量晶圓特定位置的溫度真實值，也可以精準描繪晶圓整體的溫度分布情況，還可以監控半導體設備控溫過程中晶圓發生的溫度變化，了解升溫、降溫以及恒溫過程中設備的有效性。

智測電子還提供整個實驗室過程的有線溫度計量，保證溫度傳感器的長期測量精度。

合肥智測電子致力于高精度溫測、溫控設備的生產和研發定制，為半導體設備提供可靠的國產解決方案。