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上海屹持光電技術有限公司
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當前位置:上海屹持光電技術有限公司>>光譜影像>>光源>> TEUS S-100荷蘭ISTEQ公司TEUS系列EUV光源

荷蘭ISTEQ公司TEUS系列EUV光源

參   考   價: 100000

訂  貨  量: ≥1 臺

具體成交價以合同協議為準

產品型號TEUS S-100

品       牌其他品牌

廠商性質代理商

所  在  地上海市

聯系方式:馮園園查看聯系方式

更新時間:2023-07-07 14:38:01瀏覽次數:399次

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產地 進口 售后保修期 12個月
銷售區域 全國,華東,華南,華北,華中,東北,西南,西北,港澳臺,海外
ISTEQ公司開發了一種基于激光產生等離子體(LPP)的EUV光源。該光源具有ji高的亮度和ji高的穩定性。它采用可自刷新的材料,無需中斷和更換燃料盒,因此持續運行時間極長。
ISTEQ公司為LPP光源開發的燃料是針對特定應用的光譜范圍而設計的。然而,對于掩模檢查的應用,公司開發了一種高頻錫旋轉靶,已在全qiu范圍內獲得專li。荷蘭ISTEQ公司TEUS系列EUV光源

荷蘭ISTEQ公司TEUS系列EUV光源

產品介紹:

ISTEQ公司開發了一種基于激光產生等離子體(LPP)的EUV光源。該光源具有ji高的亮度和ji高的穩定性。它采用可自刷新的材料,無需中斷和更換燃料盒,因此持續運行時間極長。

ISTEQ公司為LPP光源開發的燃料是針對特定應用的光譜范圍而設計的。然而,對于掩模檢查的應用,公司開發了一種高頻錫旋轉靶,已在quan球范圍內獲得專li。

產品特點:

·高亮度以及出色的穩定性

·zui少的碎片

·ji高的正常運行時間

·高占空比和交鑰匙操作

·用戶友好的自動化協議,確保系統平穩運行,沒有中斷的風險。

產品應用:

·掩模和表面檢查:

·圖案掩模檢測 (PMI)

·區域掩模檢測 (AIMS)

·掩模空白檢測 (MBI)

·EUV 掃描儀檢

·材料科學

·晶圓檢查

                                                                      TEUS 系列激光等離子體光源

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荷蘭ISTEQ公司TEUS系列EUV光源

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