Energetiq激光驅動光源

Energetiq光源是一款高亮度，高穩定、長壽命寬光譜光源，采用革命性的光源技術——LDLS™激光驅動光源技術，使用高功率連續激光直接聚焦氙燈內的氙離子加熱至非常高的的溫度，從而發出高效的寬頻譜光。具有高可靠性，高性能，高亮度，長壽命，紫外功率高等特點。其產品具有很寬的光譜范圍，譜線包括深紫外線（DUV）, 并覆蓋從可見光到近紅外光區（NIR），波長范圍從 170nm到2100nm 以上。

產品特點：

長壽命：10000小時7*24

高亮度：普通氙燈30倍以上

全光譜：可取代氘燈，鹵素燈，氙燈

光斑穩定性高

非常好的短期長期功率穩定性

應用：

紫外可見光譜，顯微照明

材料表征

光學元件測量

環境，氣象監測

EQ-99X                                                         EQ-99XFC

EQ-77                                                         EQ-400

產品參數：

目前LDLS激光驅動白光光源已廣泛應用于科研和工業生產，超過2000臺光源出貨，中國大部分高校和部分半導體檢測廠家均在使用該光源且反饋良好！

LDLS™激光驅動光源技術介紹

目前，我們在光譜學、測量等領域寬光譜光源主要集中與鹵素燈，氙燈，具有低成本、寬光譜、產量大等優點。但是壽命短，光斑點大，光譜不夠平滑，亮度不夠高等特點仍然在很多應用上有許多的限制。隨著全新的激光驅動bai光光源LDLS技術的興起，極大的提高了bai光光源的應用范圍和實用能力。

激光驅動白光光源原理示意圖

LDLS首先通過氙燈的高壓電極點亮氙燈，高能量1μm連續激光經過聚焦后在氙燈上，然后關閉氙燈高電壓，聚焦的激光維持高亮度等離子體發光，對于EQ-99X和EQ-99XFC等離子體光斑大小約70*140微米，易于聚焦/耦合等光路處理。

產品技術優勢：

1.       寬光譜，高亮度：LDLS激光驅動白光光源具有很寬的光譜表現，從深紫外-可見光-近紅外全覆蓋，在170-2100nm均有ji高的亮度表現

由下圖我們可以看出EQ-99光源亮度在紫外區域是75W氙燈的10倍，可見光區域也是數倍；對于30W的氘燈亮度更是100倍以上。

2.       長壽命：LDLS激光驅動光源在工作10000小時后仍具有90%輸出功率，而氙燈下降到50%只需要2000小時，氘燈只需要1000小時，極大地節約換燈，中斷實驗/產品線調試等運行成本，另外LDLS還也可以在24*7條件下持續工作。

3.       光斑極小：下面三幅分別為氙燈，LDLS激光驅動白光光源的等離子發光體圖。經過測試氙燈尺寸大于2mm*2mm，EQ-77約為150*300μm，EQ-99約為70*145μm。極小的等離子體光斑帶來非常高亮度。易于聚焦于光譜儀/分光儀，光路搭建，在使用200μm以下狹縫時具有非常高的*性，進入的能量比普通光源能高達10-100倍；另外耦合于光纖中具有非常好的效果，EQ-99XFC使用200μm光纖可以輸出50mW的光，而普通氙燈鹵素燈幾乎很難耦合。

氙燈（左）和LDLS（右）等離子體實物圖

4.       等離子體位置/功率非常穩定：下圖為等離子體中心位置監測圖，在200Hz頻率下共2500個監測點，平均縱向不穩定度為0.094μm，橫向不穩定度為0.145μm，具備了ji高的光斑位置穩定性，從而保證了測量過程和結果的穩定性。1000個積分時間為8ms共8s強度測量，平均強度不穩定性為0.25%，峰峰值不穩定性為0.55%。

等離子體中心位置                                          強度不穩定性測量

Energetiq激光驅動白光光源