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MD-AME可變反射鏡使用μAME-ST機械驅動器進行波前校正。即使在系統(tǒng)不通電的情況下，其光學表面也保持其形狀，維持矯正面型。光學鏡表面沒有驅動器粘合痕跡 (...
硅片厚度測量儀（SIT-200）由精確可調激光光源，聚焦傳感器，光學接收器組成。波長掃描光聚焦照射到目標上，由目標表面和背面反射光干涉形成干涉圖案，經過聚焦傳感...
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