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UNION 雙面對位深度測定機

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更新時間:2023-04-10 14:56:50瀏覽次數:326次

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UNIONDCM雙面對位測定機特性:DCM系列的上、下雙鏡頭設計,為雙面對位量測所開發的非接觸式光學量測儀器

UNION DCM雙面對位測定機

特性:

  • DCM系列的上、下雙鏡頭設計,為雙面對位量測所開發的非接觸式光學量測儀器。
  • DCM可由目鏡(或顯示器)分別觀看正面、背面及雙面結合影像。
  • 搭配精密的測量平臺,可分別測量待測物(sample)的 正、反面的X、Y軸數據。
  • 顯示雙面結合影像時可測量正、反面的對位差,精度。
  • 總和倍率由50倍至1000倍(上、下鏡頭倍率須相同)。

應用範圍:

  • 各種雙面製程的對位測量
  • 晶圓(Wafer) 正、反面凸塊或兩面溝槽的對位測量
  • 導線架的正/反兩面的對位測量
  • 微機電(MEMS)的正、反面的對位測量

  1. 鏡頭選擇裝置,選擇上鏡頭 (Top)後,調整焦距使畫面為一清晰之影像
  2. 鏡頭選擇裝置,再選擇下鏡頭 (Bottom),調整焦距使畫面為一清晰之影像
  3. 鏡頭選擇裝置,再選擇雙面結合影像,可同時看見正、反面的記號並測量正、反面記號的對位差

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