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UNION 雙面對(duì)位深度測定機(jī)

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更新時(shí)間:2023-04-10 14:56:50瀏覽次數(shù):329次

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UNIONDCM雙面對(duì)位測定機(jī)特性:DCM系列的上、下雙鏡頭設(shè)計(jì),為雙面對(duì)位量測所開發(fā)的非接觸式光學(xué)量測儀器

UNION DCM雙面對(duì)位測定機(jī)

特性:

  • DCM系列的上、下雙鏡頭設(shè)計(jì),為雙面對(duì)位量測所開發(fā)的非接觸式光學(xué)量測儀器。
  • DCM可由目鏡(或顯示器)分別觀看正面、背面及雙面結(jié)合影像。
  • 搭配精密的測量平臺(tái),可分別測量待測物(sample)的 正、反面的X、Y軸數(shù)據(jù)。
  • 顯示雙面結(jié)合影像時(shí)可測量正、反面的對(duì)位差,精度。
  • 總和倍率由50倍至1000倍(上、下鏡頭倍率須相同)。

應(yīng)用範(fàn)圍:

  • 各種雙面製程的對(duì)位測量
  • 晶圓(Wafer) 正、反面凸塊或兩面溝槽的對(duì)位測量
  • 導(dǎo)線架的正/反兩面的對(duì)位測量
  • 微機(jī)電(MEMS)的正、反面的對(duì)位測量

  1. 鏡頭選擇裝置,選擇上鏡頭 (Top)後,調(diào)整焦距使畫面為一清晰之影像
  2. 鏡頭選擇裝置,再選擇下鏡頭 (Bottom),調(diào)整焦距使畫面為一清晰之影像
  3. 鏡頭選擇裝置,再選擇雙面結(jié)合影像,可同時(shí)看見正、反面的記號(hào)並測量正、反面記號(hào)的對(duì)位差

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