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NISSHO 光斷面深度測定機(jī)

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更新時(shí)間:2023-04-10 14:43:32瀏覽次數(shù):402次

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光斷面深度測定機(jī)Non-ContactDepthMeasuringMicroscopeSystemNISSHO光斷面深/高度測定機(jī)其原理是利用45度的光線投射於待測物(Sample)的表面上,藉由偵測光線隨待測物表面高低起伏的變化,進(jìn)而量測深度、高度資訊

光斷面深度測定機(jī)
Non-Contact Depth Measuring Microscope System

NISSHO光斷面深/高度測定機(jī)其原理是利用45度的光線投射於待測物(Sample)的表面上,藉由偵測光線隨待測物表面高低起伏的變化,進(jìn)而量測深度、高度資訊。

產(chǎn)品特性:
使用光斷面原理,高、低段差同時(shí)顯示, 軸精度可達(dá)±1um
X.Y平臺移動(dòng)行程達(dá)410mm x 360mm

應(yīng)用範(fàn)圍:
晶圓(Wafer)溝槽深度、段差高度量測
液晶(LCD)框膠、點(diǎn)膠厚度量測
導(dǎo)線架蝕刻深度
電路板錫球、錫膏厚度

實(shí)體顯微鏡
DZ-160精密型雙眼顯微鏡
TZ-240影像式三眼顯微鏡
DZ-24O高倍率雙眼顯微鏡

特殊光學(xué)儀器

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