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5軸真空水平多關節型潔凈機械手臂

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  • 型號 GTVCR5000
  • 品牌
  • 廠商性質 生產商
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更新時間:2022-12-16 10:29:47瀏覽次數:425

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產品簡介

能夠在真空環境下對應并排擺放的腔室工作臺布局,能夠靈活地適應不同類型設備的多種布局。

詳細介紹

特點

    能夠在真空環境下對應并排擺放的腔室工作臺布局,能夠靈活地適應不同類型設備的多種布局。

  • 機械手臂標準臂長:330 mm
  • Z軸(升降軸)標準長度:60 mm
  • 可搬運重量:手臂第3關節處基準4kgf以下
  • 手臂關節處使用磁流體密封裝置
  • 真空密封:磁流體密封裝置以及波紋管
  • 提高潔凈度的方法:手臂內部排氣口安裝5 µm級過濾器
  • 雙手指機構能夠縮短更換晶圓時的手臂動作時間
  • 配備動作監視器
  • 控制通訊方式:RS232C及并口I/O方式
  • 全軸采用值編碼器規格的AC伺服電機
  • S曲線加減速控制方式能夠高速,高精度地搬運半導體晶圓
  • 手指材質:CFRP(碳纖維),鋁合金,高純度陶瓷等多種可選材質
  • 晶圓固定方式:下托式,利用晶圓自重的邊緣夾持式,利用O型膠圈的摩擦力來保持位置
  • 可以針對搬運物體,客戶設備布局的實際情況提供優選的手指

應用設備實例

高溫PVD設備;刻蝕設備等

規格
被搬運物 ?300 mm晶圓
  手臂 旋轉 升降
可動范圍*
(手臂第3關節中心基準)
635 mm 360度 60 mm
搬運速度 640 mm/1.0sec 180度/1.1sec 60 mm/1.0sec
精度 第1關節軸(J1軸)
第2關節軸(J2軸)
第3關節軸(J3軸)
第3關節軸(J5軸)
Z軸(J4軸)
0.00081度
0.00081度
0.00072度
0.00072度
0.98µm
重復性精度 ±0.1 mm以內
潔凈度 可以使用磁流體密封裝置以及顆粒過濾裝置
耐真空度 1×10-6Pa
廠務 電源:単相AC200~230V 2kVA 50/60Hz

*測試機型:GTVCR5330-060-AM中的具有代表性的標準品 (搬運物體,以及手指形狀的不同上述測量結果會不同)

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