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詳細介紹
特點
- 機械手臂標準臂長：330 mm
- Z軸（升降軸）標準長度：60 mm
- 可搬運重量：手臂第3關節處基準4kgf以下
- 手臂關節處使用磁流體密封裝置
- 真空密封：磁流體密封裝置以及波紋管
- 提高潔凈度的方法：手臂內部排氣口安裝5 µm級過濾器
- 雙手指機構能夠縮短更換晶圓時的手臂動作時間
- 配備動作監視器
- 控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式
- 全軸采用值編碼器規格的AC伺服電機
- S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運半導體晶圓
- 手指材質：CFRP（碳纖維），鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質
- 晶圓固定方式：下托式，利用晶圓自重的邊緣夾持式，利用O型膠圈的摩擦力來保持位置
- 可以針對搬運物體，客戶設備布局的實際情況提供優選的手指
能夠在真空環境下對應并排擺放的腔室工作臺布局，能夠靈活地適應不同類型設備的多種布局。
應用設備實例
高溫PVD設備；刻蝕設備等
規格
| 被搬運物 | ?300 mm晶圓 | ||
|---|---|---|---|
| 手臂 | 旋轉 | 升降 | |
| 可動范圍* （手臂第3關節中心基準） | 635 mm | 360度 | 60 mm |
| 搬運速度 | 640 mm/1.0sec | 180度/1.1sec | 60 mm/1.0sec |
| 精度 | 第1關節軸（J1軸） 第2關節軸（J2軸） | 第3關節軸（J3軸） 第3關節軸（J5軸） | Z軸（J4軸） |
| 0.00081度 0.00081度 | 0.00072度 0.00072度 | 0.98µm | |
| 重復性精度 | ±0.1 mm以內 | ||
| 潔凈度 | 可以使用磁流體密封裝置以及顆粒過濾裝置 | ||
| 耐真空度 | 1×10-6Pa | ||
| 廠務 | 電源：単相AC200～230V 2kVA 50/60Hz | ||
*測試機型：GTVCR5330-060-AM中的具有代表性的標準品 (搬運物體，以及手指形狀的不同上述測量結果會不同)
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