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5軸真空水平多關(guān)節(jié)型潔凈機(jī)械手臂

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  • 5軸真空水平多關(guān)節(jié)型潔凈機(jī)械手臂

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  • 型號(hào) GTVCR5000
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  • 廠(chǎng)商性質(zhì) 生產(chǎn)商
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更新時(shí)間:2022-12-16 10:29:47瀏覽次數(shù):426

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

能夠在真空環(huán)境下對(duì)應(yīng)并排擺放的腔室工作臺(tái)布局,能夠靈活地適應(yīng)不同類(lèi)型設(shè)備的多種布局。

詳細(xì)介紹

特點(diǎn)

    能夠在真空環(huán)境下對(duì)應(yīng)并排擺放的腔室工作臺(tái)布局,能夠靈活地適應(yīng)不同類(lèi)型設(shè)備的多種布局。

  • 機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長(zhǎng):330 mm
  • Z軸(升降軸)標(biāo)準(zhǔn)長(zhǎng)度:60 mm
  • 可搬運(yùn)重量:手臂第3關(guān)節(jié)處基準(zhǔn)4kgf以下
  • 手臂關(guān)節(jié)處使用磁流體密封裝置
  • 真空密封:磁流體密封裝置以及波紋管
  • 提高潔凈度的方法:手臂內(nèi)部排氣口安裝5 µm級(jí)過(guò)濾器
  • 雙手指機(jī)構(gòu)能夠縮短更換晶圓時(shí)的手臂動(dòng)作時(shí)間
  • 配備動(dòng)作監(jiān)視器
  • 控制通訊方式:RS232C及并口I/O方式
  • 全軸采用值編碼器規(guī)格的AC伺服電機(jī)
  • S曲線(xiàn)加減速控制方式能夠高速,高精度地搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓
  • 手指材質(zhì):CFRP(碳纖維),鋁合金,高純度陶瓷等多種可選材質(zhì)
  • 晶圓固定方式:下托式,利用晶圓自重的邊緣夾持式,利用O型膠圈的摩擦力來(lái)保持位置
  • 可以針對(duì)搬運(yùn)物體,客戶(hù)設(shè)備布局的實(shí)際情況提供優(yōu)選的手指

應(yīng)用設(shè)備實(shí)例

高溫PVD設(shè)備;刻蝕設(shè)備等

規(guī)格
被搬運(yùn)物 ?300 mm晶圓
  手臂 旋轉(zhuǎn) 升降
可動(dòng)范圍*
(手臂第3關(guān)節(jié)中心基準(zhǔn))
635 mm 360度 60 mm
搬運(yùn)速度 640 mm/1.0sec 180度/1.1sec 60 mm/1.0sec
精度 第1關(guān)節(jié)軸(J1軸)
第2關(guān)節(jié)軸(J2軸)
第3關(guān)節(jié)軸(J3軸)
第3關(guān)節(jié)軸(J5軸)
Z軸(J4軸)
0.00081度
0.00081度
0.00072度
0.00072度
0.98µm
重復(fù)性精度 ±0.1 mm以?xún)?nèi)
潔凈度 可以使用磁流體密封裝置以及顆粒過(guò)濾裝置
耐真空度 1×10-6Pa
廠(chǎng)務(wù) 電源:単相AC200~230V 2kVA 50/60Hz

*測(cè)試機(jī)型:GTVCR5330-060-AM中的具有代表性的標(biāo)準(zhǔn)品 (搬運(yùn)物體,以及手指形狀的不同上述測(cè)量結(jié)果會(huì)不同)

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