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FYM22B-5L雙面研磨拋光機

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更新時間:2022-10-22 14:58:05瀏覽次數:636

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產品簡介

本機主要用于硅片、砷化鎵片、陶瓷片、石英晶體及其它半導體材料的雙面高精度研磨或拋光,也適用于其它金屬、非金屬、光學玻璃、藍寶石等硬、脆、薄材料的雙面高精度研磨或拋光。

詳細介紹

一、設備簡介

本機主要用于硅片、砷化鎵片、陶瓷片、石英晶體及其它半導體材料的雙面高精度研磨或拋光,也適用于其它金屬、非金屬、光學玻璃、藍寶石等硬、脆、薄材料的雙面高精度研磨或拋光。

二、設備特點

1.機身結構優化設計,機架采用鑄件龍門式結構,剛性好,承壓能力強,能滿足高負載下高速穩定運行。

2.上下盤均采用通冷水結構,工件在加工過程中能保持恒定溫度,有效地提高了工作效率和加工質量。

3.采用四電機驅動,下盤、上盤、齒圈、太陽輪分別由電機單獨驅動,電機均采用變頻電機且使用變頻調速器控制,能在有效設置范圍內以任意速度工作,實現平穩的停止、加速、減速及換向,能有效的防止薄脆工件破碎。

4.本機自帶修盤系統,通過伺服系統,能在本機上實現對上下盤進行車削加工,整機精度保持性強。

5.游星輪傳動采用柱銷齒結構,并采用伺服系統實現太陽輪和齒圈的同步升降,傳動平穩無沖擊,極大地提高了游星輪和柱銷齒的使用壽命,大大降低了機器的維護時間和成本。

6.上盤上下運動采用低摩擦氣缸+SCBS自動補償平衡系統,通過滾珠花鍵副,平穩地實現高精度壓力控制。

7.采用*的PLC系統,觸摸屏操作面板,所有工藝參數及工藝配方可在觸摸屏上進行修改設置,可根據設定好的工藝參數自動完成整個加工過程。

8.整機采用自動集中潤滑裝置,潤滑良好,整機使用壽命長。

主要技術參數:

序號

項目

規格參數

1

上研磨盤尺寸

Ø1510×Ø488×85(mm)

2

下研磨盤尺寸

Ø1510×Ø488×85(mm)

3

游星輪參數

柱銷齒 柱銷直徑Ø10 節距21.05齒數82

4

游星輪數量

5

5

工件尺寸

Ø510(mm)

6

工件厚度

0.3-30(mm)

7

下研磨盤轉速

0-65(rmp)

8

加工壓力

1000Kg

9

主氣缸

125×350

10

主電機

18.5Kw

11

上盤驅動電機

11Kw

12

齒圈驅動電機

4Kw

13

太陽輪驅動電機

2.2Kw

14

修盤伺服電機

1.3Kw

15

升降伺服電機

0.75Kw

16

設備總功率

39Kw

17

外形尺寸

約3130×1810×2700(mm)

18

設備質量

≈10000Kg

安裝條件:

序號

項目

指標要求

1

環境

室內地面平坦、無振動源

2

電源

三相五線380V

3

壓縮氣源

0.6~0.8Mpa

4

溫度

0℃-45

5

對濕度

≤95%

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