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NIE-3000離子束清洗系統

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產品型號

品       牌

廠商性質生產商

所  在  地國外

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更新時間：2022-11-11 11:10:40瀏覽次數：381次

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產地 進口 售后保修期 12個月
銷售區域 全國
NIE-3000離子束清洗系統產品概述：該系統為手動放片取片，但通過計算機全自動實現工藝控制的臺式離子束刻蝕系統，系統具有結構緊湊、功能強大、自動化程度高、模塊化設計易于維護、低成本的優s。

NIE-3000離子束清洗系統產品概述：該系統為手動放片取片，但通過計算機全自動實現工藝控制的臺式離子束刻蝕系統，系統具有結構緊湊、功能強大、自動化程度高、模塊化設計易于維護、低成本的優s。


NIE-3000.png


NIE-3000離子束清洗系統產品特點：

  • 低成本

  • 離子束：高達2KV/10mA

  • 離子電流密度100-360uA/cm2

  • 離子束直徑：4",5",6"

  • 兼容反應及非反應氣體(Ar, O2, CF4,Cl2)

  • J限真空5x10-7Torr

  • 260l/s渦輪分子泵，串接500 l/min干泵

  • 14"不銹鋼或鋁質腔體

  • 水冷旋轉/傾斜樣品臺(NIE-3500)

  • 自動上下載片（NIE-3500）

  • 基于LabView軟件的PC計算機全自動控制

  • 占地面積30"x30"


產品應用：

  • 表面處理

  • 離子銑

  • 表面清洗

  • 帶活性氣體的離子束刻蝕：  光柵刻蝕，以及SiO2，Si和金屬的深槽刻蝕


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