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詳細介紹
Talysurf CCI非接觸式光學干涉表面輪廓儀，一臺*的光學儀，采用了創新的相關相干算法，對拋光的、粗糙的、曲面的、平面的、或者臺階的表面進行掃描，獲取表面的三維形貌數據。
| 型號 | CCI |
| 測量方法 | 相關相干干涉（CCI） |
| Z軸分辨率 | 0.01nm |
| Z軸測量范圍 | 2.2nm |
| RMS重復性 | ＜0.02nm |
| 測量面積（X.Y） | 6.6x6.6mm |
| 特點 | 非壓電陶瓷閉環Z軸控制，提高精度，不易損壞 |
| 應用范圍 | MEMS, 芯片，膜厚，鏡頭和玻璃表面分析，磨損測試和摩擦學，材料分析，太陽能電池，等 |
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