序號

指標名稱

指標水平

1

測試方式

雙端口臥式結構

2

有效測試口徑

大端口≥Φ600mm；小端口≥Φ100mm

3

相移方式與測試波長

波長調諧光源，波長632.8nm（可選1064nm,1053nm等）

4

調焦

光瞳調焦范圍大于±2.0m

5

變焦

1X光學變焦+50X數字變焦

6

探測器

分辨率≥1.2K×1.2K 或≥2.3K×2.3K 或≥3.4K×3.4K

7

儀器傳遞函數（ITF）

＞0.70 @ 0.6 cycles/mm

8

φ600mm標準楔形鏡（TF鏡）

PV優于λ/15,RMS優于λ/80，PSD1小于0.70nm

9

φ600mm標準反射鏡（RF鏡）

PV優于λ/15,RMS優于λ/80，PSD1小于0.70nm

10

系統空腔精度

PV優于λ/14,RMS優于λ/80，PSD1小于0.70nm

11

系統重復性精度

RMS重復性精度：＜λ/2000（2σ）

12

系統穩定性

24小時測試，系統空腔精度與重復性均達到第10,11項精度指標

13

系統可靠性

平均工作時間大于1000小時，連續工作時間大于48小時

14

分析系統

QPS快速抗振波長調諧隨機相移分析系統

15

平行平板分析

多波長掃描平行平板分析功能，厚度范圍1mm-5m

16

材料光學均勻性分析

四步法材料均勻性測量分析

17

測試對準方式與角度

快速對準角度＞±15°，測試操作時間小于2min

18

測試工裝

兩維角度調節，一維平移調節，氣浮大范圍調節