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詳細介紹
產品介紹Product introduction
XM-60多光束激光干涉儀
XM-60是一款可測量6個自由度的激光測量系統(tǒng)：
沿線性軸；
測量；
只需一次設定 測量誤差包括：
軸的線性定位；
垂直平面的角度旋轉（仰俯）；
水平平面的角度旋轉（扭擺）；
水平平面的直線度偏移；
以線性運動軸為中心的滾擺；
產品參數Product parameters
性能規(guī)格
線性 | |
測量精度 | ±0.5ppm（使用環(huán)境補償） |
分辨率 | 1nm |
測量范圍 | 0m至4m |
直線度 | |
精度 | ±0.01A/±2µm(A=顯示的直線度讀數) |
分辨率 | 0.25µm |
測量范圍 | 250µm（半徑） |
角度（俯仰/扭擺） | |
精度 | ±0.006A/±(0.5微弧度+0.1M微弧度)(M=測量的距離，單位：米) (A=顯示的角度讀數) |
分辨率 | 0.03微弧度 |
測量范圍 | ±500微弧度 |
滾擺 | |
精度 | ±0.01A±9.1微弧度(A=顯示的角度讀數) |
分辨率 | 0.5微弧度 |
測量范圍 | ±500微弧度 |
工作與存儲環(huán)境
工作環(huán)境 | ||
空氣壓力 | 600毫巴-1150毫巴 | 標準環(huán)境 |
濕度 | 相對濕度0%-95% | 非冷凝 |
溫度 | 10°C至40°C |
|
存儲環(huán)境 | ||
空氣壓力 | 550毫巴–1200毫巴 | 標準環(huán)境 |
濕度 | 相對濕度0%-95% | 非冷凝 |
溫度 | -20°C至70°C |
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產品展示Product display
產品優(yōu)勢Product advantage
應用場景Application scenarios
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