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激光干涉儀工作原理
閱讀:1096 發(fā)布時(shí)間:2022-9-1激光干涉儀是以激光波長為總長度計(jì)量檢定基準(zhǔn)的高精密檢測儀器,伴隨著干涉儀的出現(xiàn),因其有著特性比較穩(wěn)定、檢驗(yàn)精確度高及數(shù)據(jù)信息穩(wěn)定性好等優(yōu)勢,已變?yōu)楦呔艿臋C(jī)器設(shè)備生產(chǎn)制造中校正及應(yīng)對(duì)的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定儀器設(shè)備,在機(jī)械設(shè)備、金屬材料切割加工及航天航空等各個(gè)領(lǐng)域得到了普遍的運(yùn)用。
激光干涉儀以光波為載體,有著測量精度高、精確測量速度更快、檢測范圍大、較高測速下屏幕分辨率高等特性,其光波波長可直接對(duì)米做好定義并追溯至國家行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。所以干涉儀廣泛運(yùn)用于數(shù)控車床、PCB鉆孔設(shè)備、坐標(biāo)測量儀、角位移傳感器等精密儀器的質(zhì)量管理與校正及其產(chǎn)品研發(fā)、高檔設(shè)備制造等各個(gè)領(lǐng)域。