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QL-600激光干涉儀

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更新時(shí)間:2022-08-16 16:12:56瀏覽次數(shù):792

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產(chǎn)品簡介

激光干涉儀以激光波長為已知長度,采用激光干涉原理來測量位移長度,是至今*的高精度測量儀器,其測量結(jié)果可溯源到長度自然基準(zhǔn),在精密測量和制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。

詳細(xì)介紹


一、 產(chǎn)品概述

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激光干涉儀以激光波長為已知長度,采用激光干涉原理來測量位移長度,是至今*的高精度測量儀器,其測量結(jié)果可溯源到長度自然基準(zhǔn),在精密測量和制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。


QL--600激光干涉儀集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體,技術(shù)源于大學(xué)精密測試技術(shù)及儀器國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室數(shù)十年研發(fā)成果,擁有自主知識產(chǎn)權(quán),全產(chǎn)業(yè)鏈自主生產(chǎn),技術(shù)指標(biāo)達(dá)到或優(yōu)于國外同類產(chǎn)品,擁有較高的測量精度和性價(jià)比,其穩(wěn)定的重復(fù)性和高精度得到業(yè)界*,受到用戶的。


QL--600激光干涉儀系統(tǒng)主要設(shè)計(jì)用于機(jī)床及三坐標(biāo)測量機(jī)位置精度和幾何精度的評價(jià)與標(biāo)定,并被設(shè)計(jì)得便攜、易于調(diào)整和方便使用。該系統(tǒng)由光學(xué)組件和測量設(shè)備組成,并可配置成各種不同的應(yīng)用組合。QL--600激光干涉儀配置不同光學(xué)鏡組可測量線性定位精度、角度、直線度、平行度、垂直度、平面度。


二、 結(jié)構(gòu)原理

激光干涉儀是一種以激光波長為已知長度,利用邁克爾遜干涉原理測量位移的通用長度測量儀器。激光干涉儀一般使用氦氖激光,其光為紅色,真空波長為632.99nm。


當(dāng)兩束振動(dòng)方向相同、頻率相同,位相相同或位相差恒定的光在空間任一點(diǎn)相遇時(shí)其位相差也是恒定的,因而在空間某些地方的振動(dòng)始終加強(qiáng),而在另一些地方的振動(dòng)始終減弱或*抵消,這種現(xiàn)象稱為光的干涉。

微信截圖_20200617142704.png


QL--600激光干涉儀的激光器輸出含兩種正交模式的雙縱模激光,這兩種模式的光強(qiáng)用光敏二極管測量,通過加熱器控制激光管長度來實(shí)現(xiàn)穩(wěn)頻。


微信圖片_20200617142741.png


在線性測量中,角錐反射鏡將兩束光返回到分光鏡中,光束疊加并彼此干涉。如果測量光路長度改變(角錐反射鏡C移動(dòng)),干涉光束的相對相位將改變,由此產(chǎn)生的相長干涉和相消干涉的循環(huán)將導(dǎo)致疊加光束強(qiáng)度的明暗周期變化。角錐反射鏡每移動(dòng)316nm(因?yàn)榇艘苿?dòng)會(huì)造成633nm的光路長度變化),就會(huì)出現(xiàn)一個(gè)光強(qiáng)變化循環(huán)(明-暗-明),通過計(jì)算這些循環(huán)來測量移動(dòng)并進(jìn)行進(jìn)行相位細(xì)分。

微信圖片_20200617142812.png

 


三、 儀器特點(diǎn)

1、*的自主知識產(chǎn)權(quán)

QL--600激光干涉儀集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體,技術(shù)源于大學(xué)精密測試技術(shù)及儀器國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室數(shù)十年研發(fā)成果,擁有*的自主知識產(chǎn)權(quán)。生產(chǎn)廠家是極少數(shù)擁有激光器和激光干涉儀全套產(chǎn)線的高科技企業(yè),技術(shù)指標(biāo)達(dá)到或優(yōu)于國外同類產(chǎn)品,其的性能和的穩(wěn)定性受到。

2、高精度高穩(wěn)定性

QL--600激光干涉儀采用高性能的穩(wěn)頻氦氖激光器, 其真空波長為632.99nm,且長期波長穩(wěn)

定性優(yōu)于±0.04ppm。線性測量距離大于40m,測量分辨力達(dá)到1nm,具有的測量精度。

3、全自動(dòng)智能測量

在檢定線性定位精度時(shí),操作者只需設(shè)定好測量參數(shù),在軟件界面點(diǎn)擊【開始檢定】按鈕,系統(tǒng)即可完成定位精度的全自動(dòng)測量,極大減輕了操作者的勞動(dòng)強(qiáng)度,同時(shí)也避免人工操作引入的誤差

.4、自動(dòng)計(jì)算、自動(dòng)處理數(shù)據(jù)、自動(dòng)生成報(bào)表

檢定過程中自動(dòng)處理數(shù)據(jù)、自動(dòng)生成報(bào)表,海量檢定記錄存儲,隨時(shí)查詢打印。


四、 技術(shù)參數(shù)

序號

貨物名稱

主要規(guī)格

一、

QL--600激光干涉儀

1.1

QL--600激光頭

激光功率:>0.5mW

波長長期穩(wěn)定度:±0.04ppm

分辨率:1nm

測量速度:4m/s

預(yù)熱時(shí)間:≤5min

動(dòng)態(tài)采集頻率:50kHz

工作溫度范圍:0-40℃

存儲溫度范圍:(-20~70)℃

環(huán)境濕度:(0~95)%RH

 1.2

環(huán)境測量及波長補(bǔ)償單元

相對濕度:工作范圍 0-95%RH

測量精度 ±5%RH

空氣壓力:工作范圍 65-115kPa

測量精度 ±100Pa

空氣溫度:工作范圍 0℃-40℃

測量精度 ±0.1℃

材料溫度:工作范圍 0℃-55℃

測量精度 ±0.1℃

分辨力 0.01℃

1.3

線性位移測量單元

測量范圍:≥40m

分 辨 率:1nm

測量精度:±0.5ppm  (0~40)℃

測量速度:4m/s

二、

直線度測量單元(0.1-4m)

直線度測量范圍:±3mm

直線度測量精度:±0.5%示值±0.5±0.15L2μm

(L為測量距離,單位米)

分 辨 率: 0.01μm


五、 檢定依據(jù)

QL--600激光干涉儀滿足JBT 5610-2006 《激光干涉儀》,JJG 353-2006 《633nm穩(wěn)頻激光器檢定規(guī)程》,JJG 739-2005《激光干涉儀檢定規(guī)程》等國家標(biāo)準(zhǔn)。


六、 儀器校準(zhǔn)

QL--600激光干涉儀根據(jù)JJG 739-2005《激光干涉儀檢定規(guī)程》進(jìn)行校準(zhǔn)。


七、 產(chǎn)品配置清單

編號

產(chǎn)品描述

數(shù)量

備注

一、QL--600激光干涉儀

1激光頭及安裝附件

1-1.1

QL--600激光頭

1


1-1.2

電源適配器及線纜

1套

電源適配器、三芯插頭

1-1.3

USB連接線

1


1-1.4

三腳架

1


1-1.5

云臺

1


1-1.6

安全攜帶箱

1


1-1.7

三腳架攜帶包

1


2 環(huán)境補(bǔ)償組件

1-2.1

LC2000傳感器適配卡

1


1-2.2

空氣傳感器

1


1-2.3

材料傳感器

3

注:標(biāo)配一個(gè)

1-2.4

傳感器線纜

1套

USB線1根、傳感器連接線4根

3 線性位移測量組件

1-3.1

線性反射鏡

2


1-3.2

干涉鏡

1


1-3.3

調(diào)光靶標(biāo)

1


4 光學(xué)鏡安裝組件

1-4.1

鏡架(配螺紋桿)

2


1-4.2

支桿

3

M8

1-4.3

磁力表座

2


1-4.4

固定底板

2


1-4.5

氣泡水平儀

1


1-4.6

磁力表座適配器

1

M8

二、直線度測量組件

2-1

直線度干涉鏡(0.1-4m)

1


2-2

直線度反射鏡(0.1-4m)

1


三、電腦

3-1

筆記本電腦/臺式電腦

1


三、軟件

3-1

測量分析軟件

1

U盤

四、使用手冊

4-1

QL-600激光干涉儀使用手冊

1

U盤

4-2

QL-600激光干涉儀軟件使用手冊

1

U盤

五、檢測報(bào)告

5-1

中國出具檢定證書

1


六、配置清單

6-1

QL-600激光干涉儀配置清單

1



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