參數(shù)

型號

A1064-14

A355-14

振鏡參數(shù)

通光孔徑(mm)

8

跟隨誤差 (ms)

0.3

↑標刻速度 (mm/s)

3000

定位速度 (mm/s)

7000

1%全行程 (ms)

0.65

10%全行程 (ms)

1.6

重復標刻精度 (µrad)

< 2

↑增益漂移 (ppm/K)

< 80

↑零位漂移 (µrad/K)

< 15

8小時連續(xù)工作漂移(mrad)

< 0.3

非線性度 (%)

< 0.4

接口協(xié)議

XY2-100

工作偏轉角

±12.5°

動態(tài)變焦系統(tǒng)參數(shù)

系統(tǒng)入射光斑

7mm

<2.8mm

擴束比

1.4

5

Z軸變焦范圍

±30mm

±20mm

光學參數(shù)

波長

1030-1070 nm

355nm

↑承受功率

100W

25W

工作范圍

150*150①

150*150②

基本參數(shù)

電源要求

±15VDC, ≥5A

工作溫度(℃)

25±10℃