「的技術及基本性能是至今微細加工機所沒有，想創造新的價值觀」

搭載著碌碌引以為傲的先進微細加工技術，從廣範圍的粗加工，到小孔徑的微細加工，用1臺及能處理各種加工，廣泛運用的微細加工機-Vision終於誕生了。

全軸水平相對安裝線性馬達驅動器

● 各軸都配有各2組線性馬達。各自的吸引力能互相相抵，透過線性馬達來抑制移動物體的不平衡負載。

● 馬達的線圈內部，採用雙迴路冷卻方式， 作為熱源對策。

● 配備光學尺回饋：

透過解析度 0.00025? (0.25nm) 全閉式方式，對於指令值的實際移動距離進行對照，確保穩定的定位性能。

特殊超精密滾動導軌

● 高剛性及平滑的移動

● 擴大線性滑軌的支撐幅度，根據此平均化效果能確保高真直度

● 接觸面比傳統導軌擴大約6倍

另外，X軸和Y軸的擺動量在水平面和垂直面上均抑制到0.08至0.10? / 20mm和約1/20的特殊規格。

其他特色

● 可用?16銑刀進行重切削

● 鏡面加工時表面粗糙度(Ra)15.7nm (根據本公司條件進行實測值)