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詳細介紹
★優化標靶識別系統的內層高效曝光專門機型
★聯線加工效率高達10000片/天
★高精度、層間對準度，滿足精細線路加工
★曝光工序全數字化作業，跨入工業4.0智能制造
技術參數
曝光尺寸
大臺面：24.5"×28.5"
標準臺面：22"×24.5"
層間對位精度
±25µm
光源
405nm
板厚
單機：0.05-5.0mm
連線：0.075-2.5mm
景深
±300µm
線寬精度
±10%
對位精度
±12µm
適配性
適配于智能制造系統
生產效率
單機：420面/小時
連線：10000panels/day
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