產品描述

PKVL60-080U/160U/240U為定制型產品，專為有空間限制應用而設計的，超緊湊尺寸、超低外形結構，便于安裝集成在設備中。多種規格產品行程便于用戶在不同應用場合進行選擇對應產品。

壓電掃描臺移動面可放置物鏡進行Z軸物鏡聚焦操作，可提高圖像分辨率。移動面可以預定制多種安裝接口尺寸，方便各種轉接工裝的集成。

顯微鏡中的探頭對準通常需要一個開放的中心空間（例如，用于通過光），針對此類應用開發了該系列掃描臺，該平臺具有25 mm的中心孔。該壓電系統非常適合于動態應用，可以使用集成的位置傳感測量系統來克服光刻的影響。

壓電掃描臺可輕松與其他機械定位系統結合使用，非常適合從光學研究到OEM系統的各種應用。

PKVL60-080U/160U/240U壓電陶瓷掃描臺可選擇位置反饋閉環控制的版本，閉環版本品無遲滯和蠕變特性具有更高的位置線性精度和重復定位精度。

選配功能

—可定制轉接裝置及中心孔徑大小，可定制內螺紋孔徑接口

—可選PZT&Sensor連接器及線纜長度

—可選配閉環(SGS) 位置反饋系

—可選擇XZ/XY/XYZ軸版本（僅80μm）

應用領域

—掃描顯微鏡

—超分辨率顯微鏡

—掩模、晶圓定位

—干涉測量、測量技術

—顯微操縱

                   結構原理                                            疊堆形式                                           典型應用

PKVL60-080U/ 160U/240U系列技術參數