產品描述

PS2H45系列由兩維X軸疊加組合，沿X，Y軸提供12、30、50、70或100 µm的運動范圍。（標準產品行程為12μm，其它行程均可定制）。

PS2H45系列納米定位器是我們高速產品線的一部分，可提供大功率控制器，使其進行超高速驅動運動。

PS2H45-012U系列是具有納米級定位分辨率的高速，多軸，精密納米定位系統。本系列產品提供的多功能性。可選配內部位置傳感器進行閉環，可進行重復的位置測量。

體積小，具有超高諧振頻率，高穩定性，高精度使其非常適合需要低噪聲和高速性能的計量應用。參數可根據客戶要求定制。

PS2H45-012U系列壓電陶瓷元件直接移動工作臺面，具有高剛性，即使在高負載下可實現穩定定位。

選配功能

—可定制固定、負載安裝孔位及轉接裝置

—可選PZT&Sensor連接器及線纜長度

—可選配閉環(SGS) 位置反饋系

—可提供XZ/XYZ版本

應用領域

—高運動平面度和直線度的納米定位

—測量、計量

—掩模/晶圓定位

—表面測量技術

                   結構原理                                            位移特性                                             典型應用

PS2H45-012U系列技術參數