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詳細介紹
| 型號 | JL-200SCG | 300SCGII |
|---|---|---|
| 工作臺直徑 | ?200 | ?300 |
| 機器配置 | 1支主軸 / 1個旋轉工作臺 | 1支主軸 / 1個旋轉工作臺 |
| 主軸 | ||
| 型式 | 氣靜壓主軸 | 氣靜壓主軸 |
| 主軸數量(mm) | 1 | 1 |
| 伺服馬達功率 | 3.7 kw | 15 |
| 刀具 | ?250 (mm) 鉆石砂輪 | ?350 (mm) 鉆石砂輪 |
| 轉速(rpm) | Min1000 ~ Max 3000 rpm | Min1000 ~ Max 3000 rpm |
| Z 軸 | ||
| 行程 | 100 mm | 200 |
| 進給解析度 | 0.1μm | 0.1μm |
| 快速移動速度 | 300 mm / min | 300 mm / min |
| 工作臺 | ||
| 行程 | 氣靜壓工作臺 | 氣靜壓工作臺 |
| 工作臺數 | 1 | 1 |
| 轉速 | 500 rpm | 500 rpm |
| 工作臺面積(mm) | φ200 mm | φ300 mm |
| 承載重量 | 15 kg | 20 kg |
| 尺寸 | ||
| 機器重量(Kgs) | 2000 kg | 3000kgs |
| 機器作業空間 (長×寬x高) | 1000 (W)×1700 (D)×2100 (H) mm | 1000 (W)×1700 (D)×2100 (H) mm |
| 加工精度 | ||
| TTV 表面粗度 | 1.5 μmRa 0.02μm（矽晶圓） | 1.5 μm/Ra 0.02μm（ 矽晶圓） |
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