機器型號

121510

122210

123010

152210

153010

152212

153012

行程(mm)

X

1200

1200

1200

1500

1500

1500

1500

Y

1500

2200

3000

2200

3000

2200

3000

Z

1000

1000

1000

1000

1000

1200

1200

外形尺寸(mm)

Lx

1839

1839

1839

2139

2139

2139

2139

Lx1

1738

1738

1738

2038

2038

2038

2038

Ly

2896

3596

4396

3596

4396

3596

4396

Lz

3480

3480

3480

3480

3480

3840

3840

Lz1

2307

2307

2337

2307

2337

2507

2537

空間尺寸(mm)

Dz1

1173

1173

1173

1173

1173

1373

1373

工作臺尺寸(mm)

Ph

600

600

630

600

630

600

630

Py

2480

3180

3980

3180

3980

3180

3980

支撐點間距離(mm)

Sy1

555

800

890

800

890

800

890

Sy2

1370

1630

2200

1630

2200

1630

2200

Sx

1210

1210

1210

1510

1510

1510

1510

鑲嵌件位置(mm)

A

72

72

72

122

122

122

122

B

212.5

212.5

212.5

195

195

195

195

主機凈重(Kg)

3792

5696

7637

6730

9046

6760

9078

被測零件重量(Kg)

1800

2250

2250

2250

2250

2250

2250

MPEe(μm)

3.5+L/300

4+L/300

4.5+L/300

MPEp(μm)

4

4,5

5

光柵尺分辨率

0.078μm

空間移動速度

400mm/s

空間移動加速度

1000 mm/s²

流量/供氣壓力

2.5dm3/s (180NL/min) >0.7MPa

溫度

20±2℃

濕度

45%-75%