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詳細介紹
用來研磨藍寶石基板、SiC基板和陶瓷等硬脆性材料之超精密平面磨床
具有以往所沒有的優異機械剛性
具有高剛性，可抑制加工中的負面因子，同時兼具高效率和低損壞姓
具有高剛性，可擴增工作臺的直徑，亦可用於6吋晶圓的批量加工
透過非接觸式的厚度檢測來測量加工品輪廓，亦能以高可靠度支援批量加工
以獨創砂輪進行無打磨加工，維持穩定的品質，並降低停機時間
拋光用貼付板的自動搬送系統
加工程式能以配方管理執行簡單操作
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