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更新時間：2023-01-20 11:12:30瀏覽次數：305次

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產品介紹:

產品特征:

行程4m x 4m 
以線性滑軌或空氣軸承架構之定位平臺良好接地設計防止雜訊干擾 Z向震動可達奈米等級以下速度可達5m/s 標準重現精度1um或以下位置回饋系統解析度可達50nm


產品應用:

半導體設備
自動化搬送
FPD設備
太陽能制造設備 
PCB設備
水刀設備
鉆石切割設備 
AOI檢測設備
工具機

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