李先生
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HISOMET系列工具顯微鏡為一專業X、Y、Z軸座標測量顯微鏡,X、Y工作臺行程由50×50mm到大行程500×500mm,放大倍數由5×至1000×。為求提高工件在Z軸深度/高度測量時的精度,Z軸對焦采用一磚利光學“裂像指示器”,結合精密的Z軸“Cross Roller Bearing”導軌,可測范圍25 mm,精度高達1μm,配合特殊附件,測量分解度更可達0.5μm或0.1μm。
非接觸式測量顯微鏡
對焦清楚后如下圖:
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應用實例:
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技術規格:
型 號 | DH II | ||||||
工作臺行程mm | 50×50 | 100×100 | 100×200 | 150×150 | 150×300 | 300×300 | 500×500 |
Z軸測量范圍 | 25mm | 25mm | 25mm | 25mm | 25mm | 25mm | 25mm |
X、Y、Z軸數顯分解度 | 0.001mm | ||||||
Z軸讀數裝置 | 內置數顯表/外置數據處理系統 | ||||||
反射照明系統 | 內置LED/外置冷光源 | ||||||
標準目鏡 | NWF10X | ||||||
標準物鏡(W.D.12mm) | PLM10X | ||||||
讀數系統 | 簡易座標讀數器 | ||||||
多功能數據處理器 | |||||||
測量軟件電腦系統 | |||||||
選購物鏡 | PLM3X(W.D.8.5mm), PLM5X(W.D.19mm), PLLWDM20X (W.D.11.2mm), PLLWDM40X(W.D.10mm), SPLM50X (W.D.1.5mm), PLLWDM100X (W.D.5.0mm), SPLM100X(W.D.1.0mm) |
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