李先生
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兩面觀察測量顯微鏡
品牌:日本UNION
型號:DCM-40/60
DCM-40/60是一款設計*的顯微鏡,可分別或同時觀察物體的表面和底面圖像,并對兩圖像進行比較,還可以通過測量裝置測量兩圖像(表面和底面)的偏差。可選的物鏡有五種,放大倍率從50X~100X。測量精度可達1μm。
DCM-40/60主要應用于微電子行業,特別是在半導體行業。產品上下面尺寸有偏移時就可以直接對比測量,減少其它間接測量方式的誤差且不會損壞產品。例如:晶圓劃片基準印字偏移,柔性線路板線路間距,陶瓷電容片切割對位和IC框架邊緣質量等應用。
規格:
型號 | DCM-40 | DCM-60 |
物鏡 | 5X, 10X, 20X ,40x, 100X | 5X, 10X, 20X ,40x, 100X |
工作臺 | 50X50mm ~100X100mm | 150X150mm |
光源 | 150W鹵素燈2套 | 150W鹵素燈2套 |
工件厚度 | 20mm | 30mm |
選配件 | 照相系統、TV系統 |
測量步驟:
1.將"光路選擇開關"旋轉到"Top& Bottom"位置,調整上、下物體的光軸至重合。
2.將工件置于工作臺上。旋轉"光路選擇開關"到"Top" 位置,對焦上表面. .
3.旋轉“光路選擇開關"到"Bottom" 位置, 對焦下表面。.
4.將“光路選擇開關"旋轉到"Top &Bottom"位置,測量兩圖像的位置偏差。
設備:
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