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詳細介紹
10L射頻高配版參數：TS-PL10MA/P
1.真空腔規格: 材質316不銹鋼 L200mm*W270mm*H200mm
2.電極：平板氣浴電極，材質6061-T6鋁合金
功率電極：1
接地電極：1
3.電極尺寸：180mm *230mm（可處理產品尺寸規格）
4.頻率：13.56MHz
5.功率：0-300W連續可調，精度1W,可在設備運行中隨時調整參數
6.氣體控制：MFC質量流量計， 0-500ml 2路氣體
7.真空度測量儀器： 2色顯示式高精度數字式壓力開關（SMC）
8.控制方式：7寸工業控制觸摸屏，全手動控制和全自動控制兩種控制方式
9.控制軟件功能：界面顯示實時工作狀態
10.設備規格尺寸：長500mm 寬550mm 高800mm
1.真空腔規格: 材質316不銹鋼 L200mm*W270mm*H200mm
2.電極：平板氣浴電極，材質6061-T6鋁合金
功率電極：1
接地電極：1
3.電極尺寸：180mm *230mm（可處理產品尺寸規格）
4.頻率：13.56MHz
5.功率：0-300W連續可調，精度1W,可在設備運行中隨時調整參數
6.氣體控制：精密針閥式浮子流量計， 0-1000ml 2路氣體
7.真空度測量儀器： 2色顯示式高精度數字式壓力開關（SMC）
8.控制方式：4.3寸工業控制觸摸屏，全手動控制和全自動控制兩種控制方式
9.控制軟件功能：界面顯示實時工作狀態
10.設備規格尺寸：長500mm 寬550mm 高800mm
11.電極板配置：配備3個卡槽位（接地電極），極板間距離可調整，可按需求調整極板位置
1.真空腔規格: 材質316不銹鋼 L200mm*W270mm*H200mm
2.電極：平板氣浴電極，材質6061-T6鋁合金
功率電極：1
接地電極：1
3.電極尺寸：180mm *230mm（可處理產品尺寸規格）
4.頻率：13.56MHz
5.功率：0-300W連續可調，精度1W,可在設備運行中隨時調整參數
6.氣體控制：MFC質量流量計， 0-500ml 2路氣體
7.真空度測量儀器： 2色顯示式高精度數字式壓力開關（SMC）
8.控制方式：7寸工業控制觸摸屏，全手動控制和全自動控制兩種控制方式
9.控制軟件功能：界面顯示實時工作狀態
10.設備規格尺寸：長500mm 寬550mm 高800mm
11.電極板配置：配備3個卡槽位（接地電極），極板間距離可調整，可按需求調整極板位置
10L射頻標配版參數：TS-PL10MA
1.真空腔規格: 材質316不銹鋼 L200mm*W270mm*H200mm
2.電極：平板氣浴電極，材質6061-T6鋁合金
功率電極：1
接地電極：1
3.電極尺寸：180mm *230mm（可處理產品尺寸規格）
4.頻率：13.56MHz
5.功率：0-300W連續可調，精度1W,可在設備運行中隨時調整參數
6.氣體控制：精密針閥式浮子流量計， 0-1000ml 2路氣體
7.真空度測量儀器： 2色顯示式高精度數字式壓力開關（SMC）
8.控制方式：4.3寸工業控制觸摸屏，全手動控制和全自動控制兩種控制方式
9.控制軟件功能：界面顯示實時工作狀態
10.設備規格尺寸：長500mm 寬550mm 高800mm
11.電極板配置：配備3個卡槽位（接地電極），極板間距離可調整，可按需求調整極板位置
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