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詳細介紹
基本參數
| 整機尺寸(W*D*H) | 1700×1300×1800mm |
| 腔體尺寸(W*D*H) | 1025*850*948mm |
| 腔體材料 | 進口316不銹鋼 |
| 等離子發生器 | 10KW 40kHZ Camdel 美國 |
| 抽風系統 | ≥2立方/分鐘，尾氣處理管道即可 |
| 電極板數量 | 15層水平分布 |
| 處理層數 | 15層 |
| 單層處理面積 | 1030（W）*750（D）mm （可定制） |
| 單次處理時間 | 3-30分鐘不等（根據產品特征，時間設定不同） |
| 工作真空度 | 10～60Pa （可根據要求設定，可恒定真空度） |
| 泵可抽極限壓力 | ≤1Pa |
| 抽真空時間 | 90s以內 |
| 破真空時間 | ≤15s |
| 工藝氣體 | CF4 ;O2;N2;Ar;H2 |
| 供氣方式 | 高壓瓶裝氣體14MPa，減壓至0.1-0.3MPa |
| 流量計調節范圍 | 0-2000ml/min/全自動調節 |
| 溫度控制調節范圍 | 3匹速冷，30-85℃可調 |
| 真空泵系統 | 1級機械旋片真空泵+2級羅茨泵 |
| 真空測定系統 | 日本愛發科皮拉尼高精密電阻式真空計 |
| 真空供氣系統 | Ф6全不銹鋼管+不銹鋼鎖套管路 |
| 真空排氣系統 | 全不銹鋼管路+波紋管+2級過濾裝置 |
| 破真空系統 | 真空角閥 |
| PLC自動控制 | 三菱 |
| 人機工控系統 | MCGS |
| 變頻控制系統 | 中國臺灣臺達，PID閉環控制，真空度可維持 |
| 機臺溫控系統 | 冰水模溫一體機，采用內部獨立中通冰水循環冷卻系統 |
| 輸入氣壓監測系統 | 2路 日本SMC自動報警氣壓表 |
| 氣體計量系統 | SevenStar MFC氣體質量流量計精確控制流量 |
| 冰水機（標配） | / |
| 真空機組（標配） | 300m3/H |
| 系統重量 | 500KG |
| 電源 | AC380V，50/60Hz，三相五線100A 15KW |
| 壓縮空氣要求 | 0.6～0.8MPa |
| 循環冷卻水用量 | / |
| 系統環境溫濕度要求 | 溫度：5℃~+25℃ 相對濕度：<80%（25℃） |
| 環境壓力 | 1.013×105pa |
產品特點
處理溫度低。處理溫度控制在50℃以下，低的處理溫度可以確保對樣品表面不造成熱影響。
處理效果穩定。等離子清洗的處理效果非常均勻穩定，常規樣品處理后較長時間內保持效果良好。
可以搭配自動化流水線，提高生產效率根據用戶現場需求，配置的流水線生產方案，大大提高生產效率。
處理全程無污染。等離子清洗機本身是很環保的設備，不產生任何污染，處理過程也不產生任何污染。可以與原有生產流水線搭配，實現全自動在線生產，節約人力成本。
應用領域
PCB等離子清洗機設備是專門為印刷電路板（PCB）行業研發的設備，以滿足高到低的PCB制造生產需求。
目前廣泛應用于：FPC/PCB孔壁凹蝕/去除孔壁樹脂鉆污
PTFE&聚四氯乙烯材料的活化處理
碳化物去除
PCB板內層預處理
化學沉金/電鍍前手指、焊盤表面清潔
SMT前焊盤表面清潔（cleaning）
PCB板BGA封裝前表面清洗
去除電鍍夾膜
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