精密XY 平臺(tái) AX型

因采用了精密研磨的斷面高度低的LM導(dǎo)軌與精密滾珠螺桿，是可高精度的定位給進(jìn)的精密XY工作臺(tái)。因?yàn)槭菦](méi)有使用*的中間鞍座的組合，行程在一軸工作臺(tái)的組合下可以自由的選擇。

----------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------

對(duì)位平臺(tái) CMX型

基座、上位工作臺(tái)之間的四個(gè)角落，安裝了將交叉型LM線軌、交叉滾柱軸承、及精密滾珠螺桿組合起來(lái)的模塊。因采用了這樣的*構(gòu)造，而實(shí)現(xiàn)了超薄型構(gòu)造的精密對(duì)位平臺(tái)。

----------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------

 精密XY 平臺(tái) DX型

引導(dǎo)部使用交叉LM導(dǎo)軌CSR型，驅(qū)動(dòng)滾珠螺桿配置在CSR型的外側(cè)，是中空無(wú)中間鞍座的XY工作臺(tái)。因?yàn)橹锌丈衔还ぷ髋_(tái)與中空基座之間的高剛性框架的四邊配置了交叉LM導(dǎo)軌CSR型，因此是簡(jiǎn)單、高剛性、高度低的構(gòu)造。

----------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------

 精密XY 平臺(tái) EX型

因采用了交叉LM線軌CSR型，是沒(méi)有使用中間鞍座構(gòu)造簡(jiǎn)單的XY工作臺(tái)。藉由采用將兩軸的馬達(dá)固定的特殊構(gòu)造，將動(dòng)作部的重量降低到極限的輕量化，可控制XY各軸的慣性力，因此有*的高速應(yīng)答性。