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詳細介紹
XXY精密對位平臺模塊
行程 : ±15x±5、±12x±12、±15x±15 (mm)
機械作動原理-*/側邊傳動-標準型、高剛性型-驅動/從動模塊
★ 超薄型、輕量化平臺-采用Mini stage Xyθ模塊化結構,實現無中座的薄且輕的機構
★ 透過特殊交叉滾柱軸承施加預壓,達高剛性、高精度表現
★ 中空結構設計,可作為光學式檢查裝置或導通測試器使用
★ 在各運動軌道加入潤滑系統，提高對位平臺使用的壽命及精度
★ 材料皆經超深冷處理,有效預防變型,大幅提升使用壽命,質量及效能
★ 實行三次元全檢,保證滑臺出廠精度與質量
| 型號 | 行程 (mm) | 水平負載能力 (mm) |
 GAU12-CCD | ±15x±5 | 325 |
| GAU12-CCS | ±15x±5 | 325 |
| GAU12-RCD | ±15x±15 | 402 |
| GAU12-RCS | ±12x±12 | 402 |
| GAU12-RSD | ±15x±15 | 625 |
| GAU12-RSS | ±15x±15 | 625 |
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