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產品簡介:100W小型手動匹配型射頻電源RF-100-LD頻率為13.56MHz,專門與本司1"的磁控濺射頭配用,可搭建成一套較廉價的濺射鍍膜系統,用于制作非導電薄膜。
產品型號 | 100W小型手動匹配型射頻電源RF-100-LD |
技術參數 | 1、電源:AC 110V-240V 50Hz/60Hz 2、輸入功率:5W-100W(可調),穩定性±1% 3、射頻頻率:13.56MHz,穩定性±0.005% 4、匹配:手動匹配 5、冷卻:風冷 6、噪音:<50dB |
產品規格 | 尺寸:390mm×260mm×105mm |
可選配件 | 1、1"高真空磁控濺射頭,可自行搭建RF或DC濺射鍍膜儀。 2、同時購買100W射頻發射器和1"磁控濺射頭時,本司贈送1個高真空快速接頭。接頭內徑為0.75",可將濺射 頭安裝在真空腔體上,真空腔體上的安裝孔直徑為1",真空腔體的壁厚不得大于1"。 3、循環水冷機,流量為16L/min,水箱容積為6L。 |
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