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【集成單元】
通過緊湊集成標準化部件，構建工藝氣體供氣線。
實現了可高速置換工藝氣體和惰性氣體的理想流路。
從設計到裝配、檢查完成后交付，可減少客戶的工時。
| 型號 | 名稱 | 內容 | 尺寸 | 配管方式 | 備注 |
|---|---|---|---|---|---|
| IAGD5 | 集成化供氣系統 | - | - | W密封 | |
| MAGD5-R | 集成化供氣系統用元件 | 氣控閥 | 1.125inch | - | |
| MMGD5-R | 集成化供氣系統用元件 | 手動閥 | 1.125inch | - | |
| MFGD5 | 集成化供氣系統用元件 | 流量調節閥 | 1.125inch | - | |
| MCPG5 | 集成化供氣系統用元件 | 單向閥 | 1.125inch | - |
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