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【高精度】
適用于高純度氣體、高精度控制的高規格設計。
可高精度控制微小流量、壓力。
遲滯小，減小了壓力降。
| 型號 | 名稱 | 流量系列 | 2次側設定壓力 | 備注 |
|---|---|---|---|---|
| PGM-30V | 工藝氣體用減壓閥 | 20?/min | -0.07～0.21Mpa | |
| PGM-30 | 工藝氣體用減壓閥 | 20?/min | 0～0.21Mpa | |
| PGM-50 | 工藝氣體用減壓閥 | 20?/min | 0～0.35Mpa | |
| PGM-100 | 工藝氣體用減壓閥 | 20?/min | 0～0.7Mpa | |
| PGM-H-60 | 工藝氣體用減壓閥 | 50?/min | 0～0.42Mpa | |
| PGM-H-100 | 工藝氣體用減壓閥 | 50?/min | 0～0.7Mpa |
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