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輪廓形狀測定機EF550A-M50/EF550A--M58產品參數
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| 測定精度 | Z: 土(2.5+05 × IHI) um以下 H:變位(mm) X: 士(2.5+0.02L) um以下 L:測定長度(mm) |
|---|---|
| 分解能 | X:0.1um Z:0.25?m |
| 取樣數/最小間隔 | Max 64,000點/Min 0.5um |
| 測定范圍 | Z:30mm X:50mm |
| 表示倍率 | 縱(Z)、橫(X):1 ~2,000倍 |
| 直線度精度 | 1.0um/100mm |
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