詳細介紹
機構 · 方式 | 多孔質靜壓空氣軸承 · 工作臺回轉式 |
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半徑方向 回轉精度 | (0.02+0.0004H)um H:工作臺面上算起的高度(mm) |
測定徑 測定高度 | 368mm 外徑420mm, 內徑270mm |
積載重量/裝載徑 | 25kg/Φ450mm |
上下移動量 | 250mm (使用b觸針臂時) |
工作臺尺寸 | 160mm |
一、的one touch全姿勢調整傳感器:
利用長探針桿臂以及新開發“one touch"式傳感器holder可自由進入深穴、平面、傾斜面、內徑、外徑……等測定點。軟件具有提醒功能,可實現編程后一次性的測量樣品所有參數。另有防止探針落差過大卡針之保護機構。
二、R/Z軸自動停止裝置R/Z axis automatic stop function:
橫臂方向(半徑方向)或上下方向均有自動停止機能,利用伺服控制,可自動找出測定位置,幾乎無需手動微調整,操作性大幅上揚。
三、缺陷圖形:
此方式,可從直線圖形上,任何位置直接之,使操作上更加方便,無需細微調整。
四、的多孔質靜壓空氣軸承系統
此方式,可從直線圖形上,任何位置直接之,使操作上更加方便,無需細微調整。
Kosaka的多孔質靜壓空氣軸承系統工作臺,由于特殊設計,有以下特點:
1、具高剛性高負荷能力,故對偏負荷以及外部震動有強力之抑制能力。
2、壓力分布性均勻、安定性的情況下,可得到高回轉精度。
3、空氣消耗量非常之少(為傳統的1/3),穩定度高并可達經濟之效果。
綜合以上三項特點,即是為了達到高精度,安定性之測量結果的堅強保證。
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